[實用新型]一種多晶鑄錠設備的真空系統有效
| 申請號： | 201120441474.1 | 申請日： | 2011-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN202360360U | 公開（公告）日： | 2012-08-01 |
| 發明（設計）人： | 胡立光 | 申請（專利權）人： | 唐山海泰新能科技有限公司 |
| 主分類號： | F04B39/16 | 分類號： | F04B39/16;C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默聞 |
| 地址： | 064100 河北省*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 鑄錠 設備 真空 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶鑄錠設備的真空系統，所述的系統包括：真空設備單元和鑄錠設備真空工藝單元，其特征是，所述的系統還包括：過濾裝置、真空抽氣主管道、真空抽氣工藝使用管道、主管道真空閥、工藝控制閥和氣動閥；
所述的真空設備單元和鑄錠設備真空工藝單元之間分別通過所述的真空抽氣主管道和真空抽氣工藝使用管道相連通；
所述的真空抽氣主管道上設置有所述的主管道真空閥；
所述的真空抽氣工藝使用管道上設置有所述的工藝控制閥、氣動閥和所述的過濾裝置；
所述的鑄錠設備真空工藝單元產生的氣體通過真空抽氣工藝使用管道及所述的過濾裝置、工藝控制閥和氣動閥進入所述的真空設備單元。
2.根據權利要求1所述的多晶鑄錠設備的真空系統，其特征是，所述的系統還包括：冷卻裝置；所述的冷卻裝置設置在所述的真空抽氣工藝使用管道上，所述的鑄錠設備真空工藝單元產生的氣體通過所述的真空抽氣工藝使用管道及所述的冷卻裝置、過濾裝置、工藝控制閥和氣動閥進入所述的真空設備單元。
3.根據權利要求2所述的多晶鑄錠設備的真空系統，其特征是，所述的冷卻裝置包括：彎曲的管道；所述的彎曲的管道串接在所述的真空抽氣工藝使用管道中。
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