[實用新型]一種多線切割機砂漿噴嘴

有效

• 申請號: 201120438588.0
• 申請日: 2011-11-08
• 公開（公告）號: CN202318613U
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 熊稼林;王正龍
• 申請（專利權）人: 成都青洋電子材料有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/04
• 代理公司: 北京中海智圣知識產權代理有限公司 11282
• 代理人: 曾永珠

技術領域

本實用新型涉及一種噴嘴，特別是涉及一種多線切割機砂漿噴嘴。?

背景技術

多線切割機的切割原理是采用0.08-0.18mm的金屬線代替內圓刀片，將金屬線纏繞在導線輪上，驅動導線輪和單晶棒作相對運動，砂漿磨削、冷卻達到晶片的目的。多線切割機中使用的砂漿在切割過程中起主要作用。砂漿從砂漿噴嘴噴出，高速往復運動的鋼線帶動砂漿到切割區，使砂漿中的研磨顆粒與硅棒表面高速磨削。?

目前采用的S-MWS-33D多線切割機為日本原裝進口設備，其砂漿噴嘴開口寬度為3mm，開口偏大，砂漿在電機的作用力下，從攪拌桶中涌向噴嘴，但壓力已隨著管路增長而逐漸減弱，形成如圖3的噴灑方式，砂漿的分布和流量不均勻，從而可能導致：1、鋼線在高度運動時容易產生晃動，導致硅片表面出現線痕等不良現象；2、鋼線攜帶金剛砂數量少，且不均勻，導致切割能力降低，生產效率低下，同時鋼線磨損較大，容易造成斷線，從而造成原材料報廢或產品批量事故。?

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決上述問題而提供一種噴灑壓力大使砂漿分布和流量均勻的多線切割機砂漿噴嘴。?

本實用新型是通過以下技術方案實現的：?

一種多線切割機砂漿噴嘴，由噴嘴管和設置于所述噴嘴管上的噴嘴開口組成，所述噴嘴開口的寬度為0.5-2.5mm。?

作為一種優選方式，所述噴嘴開口的寬度為0.8-1.5mm。?

作為一種優選方式，所述噴嘴開口的寬度為1mm。?

進一步地，所述噴嘴管為中空圓柱體。?

本實用新型的有益效果是：?

通過改變多線切割機噴嘴上的噴嘴開口的寬度，解決了鋼線攜帶金剛砂數?量少，且不均勻，導致切割能力降低，生產效率低下，同時鋼線磨損較大，容易造成斷線，從而造成原材料報廢或產品批量事故等問題。當多線切割機噴嘴的噴嘴開口的寬度為1mm時，完全避免了因砂漿噴灑分布不均而造成斷線的情況，使硅片切割的一次合格率提升了3％。?

附圖說明

圖1是改進前的砂漿噴嘴的結構示意圖；?

圖2是本實用新型的結構示意圖；?

圖3是改進前砂漿噴嘴噴灑砂漿的示意圖；?

圖4是本實用新型噴灑砂漿的示意圖；?

圖中：1-噴嘴開口，2-噴嘴管，3-砂漿貯罐。?

具體實施方式

下面結合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明：?

如圖2所示，本實用新型一種多線切割機砂漿噴嘴，由噴嘴管2和設置于所述噴嘴管2上的噴嘴開口1組成，所述砂漿噴嘴安裝于砂漿貯罐3的頂端。所述噴嘴管2為中空圓柱體。所述噴嘴開口1的寬度為0.5-2.5mm，當所述噴嘴開口1的寬度為0.5-2.5mm時，解決了鋼線攜帶金剛砂數量少，且不均勻，導致切割能力降低，生產效率低下，同時鋼線磨損較大，容易造成斷線，從而造成原材料報廢或產品批量事故等問題。?

作為優選方式，所述噴嘴開口1的寬度為0.8-1.5mm。當所述噴嘴開口1的寬度為0.8-1.5mm時，能解決鋼線在高度運動時容易產生晃動，導致硅片表面出現線痕等不良現象。?

作為優選方式，所述噴嘴開口1的寬度為1mm。當所述噴嘴開口1的寬度為1mm時，完全避免了因砂漿噴灑分布不均而造成斷線的情況，使硅片切割的一次合格率提升了3％。?

如圖3和圖4所示，改進后的砂漿噴嘴完全避免了改進前的砂漿噴嘴因砂漿噴灑分布不均而造成斷線的情況；改進后，將硅片切割的一次合格率提升了3％。?

以上所披露的僅為本實用新型的優選實施而已，當然不能以此來限定本實用新型的權利要求范圍，因此依本實用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋的范圍。?