[實用新型]一種用于護蓋板熔射時的遮護裝置

有效

• 申請號: 201120425809.0
• 申請日: 2011-11-01
• 公開（公告）號: CN202279854U
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 張耀仁
• 申請（專利權）人: 上海科秉電子科技有限公司;科治新技股份有限公司
• 主分類號: C23C4/02
• 分類號: C23C4/02
• 代理公司: 上海兆豐知識產權代理事務所(有限合伙) 31241
• 代理人: 倪繼祖

技術領域

本實用新型涉及一種用于護蓋板熔射時的遮護裝置。

背景技術

護蓋板為薄膜制程設備的關鍵核心零件之一。生產過程中對于微塵粒子的控制十分嚴格，因此護蓋板在使用前，除了需要高質量的洗凈外，還要采用熔射的方式，覆蓋一層鋁熔射層，用于加強控制微塵粒子的方式。

如圖1所示，護蓋板包括環形本體1，該環形本體1的內側壁下部邊緣沿徑向且向內延伸形成環形臺階13，其內側壁上部邊緣沿軸向且向上延伸形成環形凸棱12，環形本體1的外側壁上部邊緣沿軸向且向上延伸形成環形側壁11。

護蓋板并不需要進行全面性的鋁熔射，為防止在熔射過程中熔射到不應該熔射的部分，造成無謂的重復作業產生，要對不需要的區域進行遮護作業。

傳統的遮護作業方式是采用熔射膠帶進行，將熔射膠帶貼附于護蓋板不需要熔射的區域，作為隔絕的方式。熔射膠帶有低黏性、耐沖擊、耐高溫的特點，適合用于熔射這項作業，但這種方式有以下缺點：

1.由于膠帶為低黏性，會發生在熔射過程中膠帶被吹開的狀況，造成遮護效果喪失不需熔射部分被污染，產生重復作業。

2.進行膠帶遮護作業皆采人工進行，由于護蓋板內部結構復雜，人工進行遮護作業需耗費大量時間，無法于短時間中大量的進行作業，人力使用效率偏低。

3.熔射膠帶雖然為低黏性，當膠帶去除時還是會有殘膠的產生，若后續去除作業未確實，再使用護蓋板時，容易產生電弧效應，會使微塵粒子失去控制。

發明內容

本實用新型的目的在于克服現有技術的缺陷而提供一種用于護蓋板熔射時的遮護裝置，該遮護裝置既能在熔射時有效地保護護蓋板不需要熔射的區域，又能完全克服熔射膠帶作業法的缺陷。

本實用新型的目的是這樣實現的：

本實用新型的一種用于護蓋板熔射時的遮護裝置，包括一圓環狀的遮護環體，所述遮護環體的內側壁下部邊緣沿軸向且向下延伸形成一環形的遮護側壁，所述遮護環體底面上設有一環形凹槽。

上述的一種用于護蓋板熔射時的遮護裝置，其中，所述遮護裝置由不銹鋼制成。

本實用新型與現有技術相比，具有以下優點：

1.本實用新型不會發生在熔射過程中膠帶被吹開的狀況。

2.本實用新型使用“放”的一個動作即可以與工件結合，與熔射膠帶必須逐個區域的黏貼進行遮護相比較，作業時間明顯降低，可大幅增加作業人員作業效率，生產效率連帶增加。

3.采用硬件裝置方式進行遮護，完全排除殘膠未清除確實的疑慮，大幅降低在使用時電弧效應產生的可能，對于生產設備的穩定度維持，有明顯的幫助。

附圖說明

圖1是護蓋板的剖視圖；

圖2是本實用新型的剖視圖；

圖3是本實用新型的遮護狀態結構圖。

具體實施方式

下面將結合附圖對本實用新型作進一步說明。

請參閱圖1，圖中示出了護蓋板的剖視圖，該護蓋板包括環形本體1，該環形本體1的內側壁下部邊緣沿徑向且向內延伸形成環形臺階13，其內側壁上部邊緣沿軸向且向上延伸形成環形凸棱12，環形本體1的外側壁上部邊緣沿軸向且向上延伸形成環形側壁11。

請參閱圖2，圖中示出了本實用新型遮護裝置的剖視圖，該遮護裝置包括一圓環狀的遮護環體2，遮護環體2的內側壁下部邊緣沿軸向且向下延伸形成一環形的遮護側壁21，遮護環體2底面上設有一環形凹槽22，本實用新型遮護裝置由不銹鋼制成。

熔射前，將本實用新型遮護裝置如圖3所示的結構放于護蓋板的內圈中，本實用新型遮護裝置遮護環體2的底面置于護蓋板環形本體1的頂面上，且護蓋板環形本體1上的環形凸棱12嵌于遮護裝置遮護環體2的環形凹槽22，進一步強化了遮護裝置與護蓋板的密合度，有效地遮護了該區域不受熔射的影響。

以上實施例僅供說明本實用新型之用，而非對本實用新型的限制，有關技術領域的技術人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術方案也應該屬于本實用新型的范疇，應由各權利要求所限定。