[實用新型]快速鎖緊式微波貫通法蘭

有效

• 申請號: 201120422834.3
• 申請日: 2011-10-31
• 公開（公告）號: CN202392334U
• 公開（公告）日: 2012-08-22
• 發明（設計）人: 尤耀明;代寧;李文虎
• 申請（專利權）人: 無錫綠波新能源設備有限公司
• 主分類號: F16L37/248
• 分類號: F16L37/248
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 曹祖良

技術領域

本實用新型涉及一種微波貫通法蘭，具體地說是一種快速鎖緊式微波貫通法蘭，屬于法蘭制造技術領域。?

背景技術

我國對太陽能電池的研究開發工作一向高度重視，早在七五期間，非晶硅半導體的研究工作已經列入國家重大課題；八五和九五期間,我國把研究開發的重點放在大面積太陽能電池等方面。2003年10月，國家發改委、科技部制定出未來5年太陽能資源開發計劃，發改委“光明工程”將籌資100億元用于推進太陽能發電技術的應用，計劃到2015年全國太陽能發電系統總裝機容量達到300兆瓦。我國已成為全球光伏產品最大制造國，我國即將出臺的《新能源振興規劃》，我國光伏發電的裝機容量規劃為2020年達到20GW，是原來《可再生能源中長期規劃》中1.8GW的10多倍。?

目前國內太陽能硅生產企業主要有洛陽單晶硅廠、河北寧晉單晶硅基地和四川峨眉半導體材料廠等廠商，其中河北寧晉單晶硅基地是世界最大的太陽能單晶硅生產基地，占世界太陽能單晶硅市場份額的25%左右。?

隨著光伏行業的日益成熟，許多電池片廠商對設備的維修與保養提出了越來越高的要求，在給電池片鍍膜的PECVD工序，需要在工藝腔中通入反應氣體然后在微波的激發下使反應氣體電離來達到對硅片鍍膜的目的，而PE石英管是ROTH&RAU設備上用于激發微波的關鍵零件，由于石英的易碎性，因此容易在工作中因收到機械、震動、熱膨脹等因素而發生損壞，即使是使用完好的石英管因為在工藝腔中沉積厚厚的氮化硅而時常需要定期拆下來清洗維護；所以石英管更換的是否方便直接決定了設備保養所需要的時間，目前石英管是通過普通的螺紋卡頭固定在微波貫通法蘭上的，拆裝繁瑣、維護時間較長。?

本實用新型使用時只需要通過鎖緊頭上面的限位釘與開在微波貫通法蘭上的條狀螺旋槽便可實現石英管裝配時的鎖緊；拆卸時候，只需用扳手插入鎖緊頭上的孔中逆時針旋轉便可輕易實現拆卸。?

發明內容

本實用新型的目的在于克服上述不足之處，提供一種快速鎖緊式微波貫通法蘭，使石英管在安裝過時，只需要通過鎖緊頭上面的限位釘與開在微波貫通法蘭上的條狀螺旋槽便可實現石英管裝配時的鎖緊；拆卸時候，只需用扳手插入鎖緊頭上的孔中逆時針旋轉便可輕易實現拆卸。?

按照本實用新型提供的技術方案，所述快速鎖緊式微波貫通法蘭，包括微波貫通法蘭，其特征是：還包括鎖緊頭，鎖緊頭安裝于微波貫通法蘭的外套筒上；鎖緊頭上設置有限位釘。?

所述微波貫通法蘭的外套筒上開有兩個螺旋槽，兩螺旋槽在外套筒上以180度的角度陣列分布；兩螺旋槽的形狀、尺寸完全相同，均以微波貫通法蘭的內套筒的軸線為中心呈螺旋下降狀態，且螺旋槽在起點處開一個平行于內套筒的軸線的直槽，該直槽貫通外套筒的壁厚且貫通外套筒的上端面；所述直槽的寬度大于限位釘的直徑。?

所述鎖緊頭上設置有兩組限位釘，微波貫通法蘭上設置有和限位釘對應的螺紋孔；所述兩組螺紋孔均以鎖緊頭的軸線為旋轉軸以180度的角度陣列分布。?

本實用新型具有如下優點：本實用新型上設置有條形螺旋槽，在鎖緊頭上安裝有限位釘，通過旋轉鎖緊頭使限位釘達到條形螺旋槽的極限位置并通過螺旋槽的自鎖能力而固定，操作方便，省時，結構簡單，易于生產。?

附圖說明

圖1?本實用新型結構示意圖。?

圖2?本實用新型鎖緊頭結構示意圖。?

圖3?本實用新型微波貫通法蘭結構示意圖。?

具體實施方式

如圖1-3所示，快速鎖緊式微波貫通法蘭，包括微波貫通法蘭1，還包括鎖緊頭2，鎖緊頭2安裝于微波貫通法蘭1的外套筒13上；鎖緊頭2上設置有限位釘3。?

所述快速鎖緊式微波貫通法蘭，包括微波貫通法蘭1，括鎖緊頭2，鎖緊頭2安裝于微波貫通法蘭1的外套筒13上；鎖緊頭2上設置有限位釘3。?

所述微波貫通法蘭1的外套筒13上開有兩個螺旋槽15，兩螺旋槽15在外套筒13上以180度的角度陣列分布；兩螺旋槽15的形狀、尺寸完全相同，均以微波貫通法蘭1的內套筒14的軸線為中心呈螺旋下降狀態，且螺旋槽15在起點處開一個平行于內套筒14的軸線的直槽，該直槽貫通外套筒13的壁厚且貫通外套筒13的上端面；所述直槽的寬度大于限位釘3的直徑。?

所述鎖緊頭2上設置有兩組限位釘3，微波貫通法蘭1上設置有和限位釘3對應的螺紋孔4；所述兩組螺紋孔4均以鎖緊頭2的軸線為旋轉軸以180度的角度陣列分布。?

安裝時，作業人員先將鎖緊頭2插入微波貫通法蘭1，、將限位釘3放入微波貫通法蘭1的螺旋槽15起始位置的直槽中，然后順時針旋轉鎖緊頭2直到的限位釘3的圓柱頭與微波貫通法蘭1上的螺旋槽15的尾端圓弧面緊配，則作業人員再稍作用力，便可實現螺旋自鎖達到固定的目的。拆卸是安裝步驟的逆向操作。其中任一組孔的位置按鎖緊頭2插入微波貫通法蘭1后，微波法蘭1上的螺旋槽15在鎖緊頭2上的投影所覆蓋區域的中線上選取。?