[實用新型]多晶硅還原系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120421115.X | 申請日: | 2011-10-31 |
| 公開(公告)號: | CN202284150U | 公開(公告)日: | 2012-06-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 齊林喜;劉占卿 | 申請(專利權(quán))人: | 內(nèi)蒙古盾安光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/03 | 分類號: | C01B33/03 |
| 代理公司: | 北京智匯東方知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11391 | 代理人: | 張群峰;范曉斌 |
| 地址: | 015543 內(nèi)蒙古自*** | 國省代碼: | 內(nèi)蒙古;15 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 多晶 還原 系統(tǒng) | ||
1.一種多晶硅還原系統(tǒng),其特征在于,包括:
鼓泡式汽化器;
氫氣加熱器;
分別與鼓泡式汽化器和氫氣加熱器相連的多個靜態(tài)混合器;以及
分別與相應(yīng)的靜態(tài)混合器相連的多個多晶硅還原爐。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅還原系統(tǒng),其特征在于,還包括與所述多個多晶硅還原爐均相連的尾氣回收系統(tǒng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅還原系統(tǒng),其特征在于,靜態(tài)混合器分別通過相應(yīng)的流量調(diào)節(jié)閥與鼓泡式汽化器和氫氣加熱器相連。?
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