[實用新型]光罩盒存放柜

有效

• 申請號: 201120395791.4
• 申請日: 2011-10-17
• 公開（公告）號: CN202279374U
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 胡鵬飛;木建秀
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: B65D81/20
• 分類號: B65D81/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種光罩盒存放柜，其特征在于，包括：柜體，設置于所述柜體內的進氣夾層，和排氣管；其中，所述進氣夾層設有進氣端和通孔，所述進氣端與一氣體供應設備連接；所述排氣管設有排氣端，所述排氣端伸出所述柜體，所述排氣管的管壁上設有多個通孔。

2.如權利要求1所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述光罩盒存放柜還包括設置于所述柜體外的第一流量控制閥和第二流量控制閥，所述進氣端通過所述第一流量控制閥與所述氣體供應設備連接，所述排氣端與所述第二流量控制閥連接。

3.如權利要求1或2所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述通孔為螺絲通孔，所述螺絲通孔的孔徑大小可調。

4.如權利要求1所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述柜體被分隔成多個相互獨立的存放單元，所述進氣夾層與每個所述存放單元均連接，且所述排氣管與每個所述存放單元均連接。

5.如權利要求4所述的光罩盒存放柜，其特征在于，每個所述存放單元均呈長方體狀，所述存放單元包括門、第一側面板、后面板、第二側面板、上面板和下面板，所述上面板與下面板平行，所述第一側面板、后面板和第二側面板固定設置在所述上面板與下面板之間，且均垂直于所述上面板和下面板，所述后面板與所述第一側面板相連，所述第二側面板與所述后面板相連，且所述第一側面板與所述第二側面板平行，所述門的一側邊與所述第一側面板鉸鏈接，當所述門關閉時，所述門的另一側邊與所述第二側面板吸合，且所述門平行于所述后面板。

6.如權利要求5所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述第一側面板和第二側面板的內壁上設有第一L型導軌。

7.如權利要求6所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述存放單元內設有第一支撐桿和第二支撐桿，所述第一支撐桿和第二支撐桿均垂直設置在所述上面板與所述下面板之間，所述第一支撐桿和第二支撐桿的一端與所述上面板連接，所述第一支撐桿和第二支撐桿的另一端與所述下面板連接，所述第一支撐桿與所述第二支撐桿之間設有第二L型導軌。?

8.如權利要求7所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述第一支撐桿到所述第一側面板的距離等于所述第一支撐桿到所述第二側面板的距離。

9.如權利要求7所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述第一L型導軌和第二L型導軌上均設有擋板。

10.如權利要求5所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述進氣夾層包括第一夾層板和第二夾層板，所述第一夾層板和第二夾層板均平行于所述后面板，所述第一夾層板到所述后面板的距離小于所述第二夾層板到所述后面板的距離，在沿垂直于所述第一側面板的方向上，所述第一夾層板的長度比所述第二夾層板的長度長，在所述第一夾層板和第二夾層板的兩側各形成一斜縫隙。

11.如權利要求5所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述門上設有透視窗口和把手。

12.如權利要求1或2所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述光罩盒存放柜還包括設置于所述柜體外的第三流量控制閥，所述排氣管還設有出口端，所述出口端與所述第三流量控制閥連接。?