[實(shí)用新型]一種電子級(jí)化學(xué)品結(jié)晶器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120393380.1 | 申請(qǐng)日: | 2011-10-17 |
| 公開(公告)號(hào): | CN202223931U | 公開(公告)日: | 2012-05-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉飛;孟文祥;蔣月明;劉海 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 甕福(集團(tuán))有限責(zé)任公司 |
| 主分類號(hào): | B01D9/02 | 分類號(hào): | B01D9/02;C01B25/234 |
| 代理公司: | 貴陽中工知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 52106 | 代理人: | 陳镕堅(jiān) |
| 地址: | 550002 貴州省貴*** | 國省代碼: | 貴州;52 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 電子 化學(xué)品 結(jié)晶器 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及結(jié)晶設(shè)備,具體來說涉及一種電子級(jí)化學(xué)品結(jié)晶器。
背景技術(shù)
電子級(jí)磷酸化學(xué)品晶體廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)等電子工業(yè),主要用于芯片的清洗和蝕刻,電子級(jí)磷酸晶體對(duì)生產(chǎn)設(shè)備有較高的要求,晶體難以控制、結(jié)晶條件要求苛刻,結(jié)晶器是影響產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵;目前國內(nèi)應(yīng)用的結(jié)晶器存在攪拌不充分,?攪拌器的速率不好調(diào)節(jié),?下料過程中有堵塞的現(xiàn)象,清理困難,而且結(jié)晶過程不易觀察,磷酸晶體的形狀難以控制、產(chǎn)品易被污染,從而影響產(chǎn)品的質(zhì)量及生產(chǎn)周期。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,提供結(jié)構(gòu)簡單、實(shí)用、
有效的一種電子級(jí)化學(xué)品結(jié)晶器,以滿足電子級(jí)磷酸化學(xué)品結(jié)晶生產(chǎn)的需要。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
一種電子級(jí)化學(xué)品結(jié)晶器,包括結(jié)晶罐,?攪拌器,?所述結(jié)晶罐采用高純塑料作為內(nèi)襯;所述結(jié)晶罐外有鋼圍管和/或夾套;所述?結(jié)晶罐設(shè)置3~5個(gè)物料加入口;所述?結(jié)晶罐罐壁開有2~4個(gè)目視孔;?所述結(jié)晶罐罐壁還開有2~4個(gè)溫度計(jì)插入孔;所述攪拌器采用變頻調(diào)節(jié)模式,所述攪拌器攪拌軸直達(dá)結(jié)晶罐底部,并在攪拌軸底端連接有刮板。
作為本實(shí)用新型改進(jìn),所述刮板上置有小孔。
本實(shí)用新型提供的結(jié)晶器,具有以下特點(diǎn):
(1)結(jié)晶罐采用高純塑料作為內(nèi)襯,達(dá)到防腐、潔凈的效果;
(2)結(jié)晶罐外做鋼圍管和/或夾套,通入介質(zhì),達(dá)到降溫或升溫的效果;
(3)結(jié)晶罐設(shè)置多個(gè)物料加入口,便于原料加入、凈化劑加入、晶種加入和結(jié)晶罐清洗,達(dá)到更好形成晶體的效果;
(4)結(jié)晶罐罐壁開有目視孔,便于隨時(shí)觀察結(jié)晶效果;
(5)攪拌器采用變頻調(diào)節(jié)模式,可根據(jù)晶體成形過程的特點(diǎn)來改變攪拌器頻率,以便控制結(jié)晶的晶形,并達(dá)到提純的效果。
(6)結(jié)晶器的攪拌軸直達(dá)結(jié)晶罐底部,并在攪拌軸底端連接攪拌刮板,有利于晶體的下料和清理;避免了晶體在下料過程中的堵塞管道的現(xiàn)象。
本實(shí)用新型提供的一種電子級(jí)化學(xué)品結(jié)晶器,通過實(shí)際使用證明,達(dá)到了預(yù)定目的,適用于電子級(jí)化學(xué)品晶體生產(chǎn)的需要,尤其是適用于電子級(jí)磷酸化學(xué)品晶體生產(chǎn)。
附圖說明
附圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖;
圖中:?1為物料加入口,2為結(jié)晶罐,3為溫度計(jì)插入孔,4為刮板,5為夾套,6為目視孔,7為鋼圍管,8為攪拌器,9為介質(zhì)進(jìn)口,10為介質(zhì)出口。
具體實(shí)施方式
?下面結(jié)合附圖與實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
實(shí)施例:
附圖1示意了本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu),某廠所使用的電子級(jí)化學(xué)品結(jié)晶器,如圖所示,其結(jié)晶罐2內(nèi)部采用高純塑料(如高純密度聚乙烯—HDPE或聚四氟乙烯—PTFE或聚四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚—PFA)作為內(nèi)襯,防止材質(zhì)對(duì)電子化學(xué)品產(chǎn)生二次污染;結(jié)晶罐2上設(shè)置3個(gè)物料加入口1;結(jié)晶罐2壁上開有3個(gè)目視孔6和3個(gè)溫度計(jì)插入孔3;結(jié)晶罐2外上部置有鋼圍管7,下部置有夾套5,鋼圍管7和夾套5是連通的,其上設(shè)有介質(zhì)進(jìn)口9和介質(zhì)出口10;結(jié)晶罐2中央裝有攪拌器8,攪拌器8采用變頻調(diào)節(jié)模式,所述攪拌器8攪拌軸直達(dá)結(jié)晶罐2底部,并在攪拌軸底端連接有刮板4。本實(shí)施例刮板4上置有小孔。
本實(shí)用新型已在某廠電子級(jí)磷酸化學(xué)品晶體生產(chǎn)上運(yùn)用,取代了原有的結(jié)晶器,使產(chǎn)品晶體具有特定的晶形、光澤,達(dá)到提純作用,產(chǎn)品質(zhì)量有保證,具有很好的經(jīng)濟(jì)效益。
以上所述,僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制,任何未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案內(nèi)容,依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾,均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
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