[實(shí)用新型]基于石英音叉的三維諧振觸發(fā)測頭有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120392059.1 | 申請日： | 2011-10-14 |
| 公開（公告）號： | CN202274866U | 公開（公告）日： | 2012-06-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃強(qiáng)先;王毛翠;張昔峰;黃帥;趙劍;王廣紅 | 申請（專利權(quán)）人： | 合肥工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號： | G01B17/06 | 分類號： | G01B17/06 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安專利代理有限責(zé)任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 *** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 石英 音叉 三維 諧振 觸發(fā) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.基于石英音叉的三維諧振觸發(fā)測頭，其特征是：采用石英音叉(1)作為實(shí)現(xiàn)三維諧振觸發(fā)定位的微力傳感器，在所述石英音叉(1)的一個(gè)音叉臂上固定有壓電驅(qū)動器(2)，在另一個(gè)音叉臂上固定有壓電傳感器(3)；設(shè)置所述石英音叉(1)在Z方向上的振動方向與試樣表面垂直，在X、Y方向上的振動方向與試樣表面平行，在靠近試樣(6)所在一側(cè)的音叉臂上，固定設(shè)置一體式微測桿測球(7)，以鎖相環(huán)路輸出的正弦交流信號(4)施加于所述壓電驅(qū)動器(2)作為勵(lì)振信號，通過壓電傳感器(3)檢測音叉諧振信號(5)。
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