[實(shí)用新型]電阻式真空高溫爐水冷電極防護(hù)屏

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120389940.6
• 申請(qǐng)日: 2011-10-13
• 公開（公告）號(hào): CN202595346U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉世全;徐家慶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 劉世全
• 主分類號(hào): C30B35/00
• 分類號(hào): C30B35/00;C30B29/06;C30B29/20
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

所屬技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及熔體籽晶法單晶生長(zhǎng)設(shè)備，尤其涉及一種電阻式真空高溫爐水冷電極防護(hù)屏。?

背景技術(shù)

隨著太陽(yáng)能的利用以及LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶來(lái)了單晶硅及藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)爐的大量需求，目前的單晶爐大部份以真空環(huán)境、低壓大電流大功率、高溫為特征，其中構(gòu)成晶體爐的關(guān)鍵部件——電極，但是電極均為內(nèi)置水冷式，并且會(huì)直接受到發(fā)熱元件的輻射，是高溫?zé)釗p的主要原因之一。如何隔離這種輻射，大大提高高溫爐熱效率，將是目前急需解決的主要問(wèn)題。?

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種電阻式真空高溫爐水冷電極防護(hù)屏，采用難熔金屬片做成防護(hù)屏組，安裝在水冷電極迎向熱輻射源的一面，使熱輻射不能直接照射到水冷電極上，從而使電極處于較低溫度，避免熱能通過(guò)冷卻水帶走，提高高溫爐熱效率。?

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：在水冷電極下方安裝若干層難熔金屬片疊合構(gòu)成的隔熱防護(hù)屏，使?fàn)t內(nèi)高溫?zé)彷椛湔丈涞皆摻M屏片，而不能直接輻射到電極上。?

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述隔熱防護(hù)屏的難熔金屬片層數(shù)可以是一層或者多層。?

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述難熔金屬片材質(zhì)可以是鎢或者鉬。?

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述隔環(huán)的結(jié)構(gòu)形狀可以是短管、卷片、?波紋板、絲環(huán)。?

本實(shí)用新型產(chǎn)生的有益效果是，避免熱能通過(guò)直接輻射方式照射在水冷電極上，從而使其表面處于較低的溫度環(huán)境，皮面局部熱熔，避免過(guò)多熱能被冷卻水帶走，提高高溫爐熱效率，能大量用于藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)爐或單晶硅爐。?

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和該實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。?

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的平面圖。?

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的側(cè)視圖。?

附圖標(biāo)記說(shuō)明：1.隔熱屏片，2.側(cè)屏，3.隔環(huán)。?

具體實(shí)施方式

在圖實(shí)施例中，一種電阻式真空高溫爐水冷電極防護(hù)屏，防護(hù)屏主要有隔熱屏片(1)、側(cè)屏(2)、隔環(huán)(3)組成。將難熔金屬片按水冷電極受輻射面的形狀制成若干隔熱屏片(1)，再將若干隔熱屏片(1)疊合起來(lái)且在隔熱屏片之間以同種材質(zhì)的隔環(huán)(3)隔離，然后通過(guò)螺栓將多層隔熱屏片(1)緊固為一體，再在緊固為一體的多層隔熱屏片的外圍通過(guò)螺栓固定兩片同種金屬材質(zhì)且圓弧形狀的側(cè)屏(2)，即組成防護(hù)屏，并將其安裝于水冷電極下方形成熱輻射防護(hù)屏，從而隔離來(lái)自發(fā)熱體的輻射。?