[實用新型]硅粉過濾系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120383537.2 | 申請日： | 2011-10-11 |
| 公開（公告）號： | CN202237649U | 公開（公告）日： | 2012-05-30 |
| 發(fā)明（設計）人： | 劉科;諶亮;郭紅兵;劉國成;夏志科 | 申請（專利權）人： | 天威四川硅業(yè)有限責任公司 |
| 主分類號： | B01D46/46 | 分類號： | B01D46/46;C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 方強 |
| 地址： | 611436 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 過濾 系統(tǒng) | ||
1.硅粉過濾系統(tǒng)，包括兩臺并聯(lián)硅粉過濾器，通過程序控制自動切換，每臺硅粉過濾器的上端均設置有SiHCl3合成氣出氣口（2）和氮氣進口（3），下端均設置有SiHCl3合成氣進氣口（1），底端均設置有廢氣及廢硅粉出口（5）、吹掃氣進口（4），所述SiHCl3合成氣進氣口（1）、SiHCl3合成氣出氣口（2）、氮氣進口（3）和吹掃氣進口（4）均連接設置有閥門，其特征在于：所述閥門均為反吹閥門，均采用氣動硬密封偏心半球閥（6）；所述廢氣及廢硅粉出口（5）處設置有雙盤結構的氣動圓盤閥（7）。
2.根據(jù)權利要求1所述的硅粉過濾系統(tǒng)，其特征在于：所述硅粉過濾系統(tǒng)的吹掃氣進口（4）連接的氫氣管線的止回閥前設置有一個DN25的氣動軟密封球閥（8），同時氮氣進口（3）連接的氮氣支管管線的止回閥前設置有一個DN25的氣動軟密封球閥（8）。
3.根據(jù)權利要求1所述的硅粉過濾系統(tǒng)，其特征在于：在硅粉過濾器內(nèi)，SiHCl3合成氣進氣口（1）和SiHCl3合成氣出氣口（2）之間的連接管線上設置有壓差計（9）。
4.根據(jù)權利要求1所述的硅粉過濾系統(tǒng)，其特征在于：所述系統(tǒng)采用集散控制系統(tǒng)DCS全自動控制硅粉過濾系統(tǒng)。
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