[實用新型]液體存儲裝置

有效

• 申請號: 201120381256.3
• 申請日: 2011-10-09
• 公開（公告）號: CN202279427U
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 何金群;裴立坤;吳儀;昝威
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: B65D90/38
• 分類號: B65D90/38;B65D88/02
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本實用新型涉及集成電路制造技術領域，特別涉及一種液體存儲裝置。

背景技術

在集成電路制造過程中，需要對硅片進行各種清洗，在清洗的過程中會用到各種化學液。例如，在銅互連清洗設備中，一般會用到ST250化學液；在拋光片清洗設備中，一般會用到氨水、雙氧水、氫氟酸等化學液。同時，對化學液的純度要求很高。這些化學液通常通過化學液存儲裝置輸送到設備的各個機臺中。

在專利公告號為CN201857044U的專利中介紹了現有化學液存儲裝置情況，具體參照圖1，通常包括：儲液罐110、進液管路120、出液管路130、進氣管路140，泄壓管路150、設置在泄壓管路150上的壓力釋放閥151、真空破壞管路160、以及設置在真空破壞管路160上的真空破壞閥，所述進液管路120、出液管路130以及進氣管路140均與所述儲液罐110連接。

同時，上述專利的液體存儲裝置中介紹了一種改進后的液體存儲裝置200，具體參照圖2，包括：儲液罐210、進液管路220、出液管路230、進氣管路240以及液體保壓裝置，所述進液管路220、出液管路230以及進氣管路240均與儲液罐210連接，所述液體保壓裝置包括溢流管250以及液封槽260，所述液封槽260內存儲有液體，所述溢流管250的一端與儲液罐210連接，所述溢流管250的另一端伸入到所述液體內。所述液封槽260為開口容器，包括側壁261以及與側壁261連接的底壁262。所述液體保壓裝置包括補液管路270和排液管路280，所述補液管路270和排液管路280均與所述液封槽210的側壁211連接。所述進液管220路設置有第一閥221，用于控制所述進液管路220的通斷；所述出液管路230設置有第二閥231；所述進氣管路240上設置有第三閥241。

以上兩種裝置的主要區別是對儲液罐內保護氣體在過壓和低壓時采用的處理方式不一樣。圖1采用的是壓力釋放閥和真空破壞閥，但由于壓力釋放閥和真空破壞閥是機械連鎖裝置，使用一段時間后易出現機械動作不靈敏的情況，導致存儲罐內的壓力不穩定，從而損壞存儲罐，影響工藝生產的整出進行。圖2采用的是溢流管及液封槽，可保持存儲罐內的壓力恒定，但需要調整溢流管伸入到液封槽內的液體深度，以確保液封槽內的液體不會倒灌到存儲罐內，存在一定的風險性。并且，由于液封槽中使用的液體通常為去離子水，水具有長菌的特性，因此需對液封槽中的去離子水進行相關控制，在使用過程中需要考慮這方面的影響。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

本實用新型要解決的技術問題是：如何避免儲液罐中的化學液受到破壞，且保證化學液順利流出。

(二)技術方案

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種液體存儲裝置，包括：儲液罐、進液管路、出液管路及排氣管路，所述進液管路、出液管路和排氣管路均連接所述儲液罐，還包括與所述儲液罐連接的緊急進氣管路，所述緊急進氣管路包括：差壓式機械裝置及儲氣罐，所述差壓式機械裝置一端連接所述儲液罐，另一端連接所述儲氣罐，用于根據所述儲氣罐和儲液罐之間的氣壓差大小自動連通或關斷所述儲氣罐和儲液罐之間的連接。

其中，所述差壓式機械裝置包括：外壁、密封件、密封隔板以及彈性部件，所述外壁的一端連接所述儲液罐，另一端連接所述儲氣罐，所述密封件固定在外壁內部，所述密封隔板固定在彈性部件的一端，通過和密封件的配合關閉或打開所述儲液罐和所述儲氣罐之間的管路，所述彈性部件的另一端固定在所述外壁上。

其中，所述彈性部件為彈簧。

其中，所述進液管路、排氣管路以及緊急排氣管路均與儲液罐的頂壁連接，所述出液管路與儲液罐底壁連接。

其中，所述進液管路設置有第一閥，所述出液管路設置有第二閥，所述排氣管路設置有單向閥。

其中，所述液體存儲裝置還包括：與所述儲液罐連接的充氣管路。

其中，所述充氣管路連接在所述儲液罐的頂壁。

其中，所述充氣管路設置有第三閥。

其中，所述儲液罐的形狀為圓桶形、圓錐體、長方體形或圓桶形和圓錐體的組合體。

(三)有益效果

本實用新型通過緊急進氣管路的設計來代替液封槽，且緊急進氣管路能夠給儲液罐中快速補充保護性氣體，避免了儲液罐中的化學液被破壞，還保證了化學液順利地流出。

附圖說明

圖1是現有技術中的一種液體存儲裝置的結構示意圖；

圖2是現有技術中的另一種液體存儲裝置的結構示意圖；