[實用新型]掩模板運輸盒

有效

• 申請號: 201120372806.5
• 申請日: 2011-09-27
• 公開（公告）號: CN202226153U
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發明（設計）人: 高濤;周偉峰
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B65D25/10
• 分類號: B65D25/10;B65D43/02;B65D85/30
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

技術領域

本實用新型涉及薄膜場效應晶體管TFT陣列制造領域，特別是指一種掩模板運輸盒。

背景技術

TFT(Thin?Film?Transistor，薄膜場效應晶體管)陣列制造技術中的光刻工藝是通過光學成像的方法把掩模板(Mask)上的圖案轉移到玻璃基板或者半導體晶片表面的光刻膠上的過程，然后再通過顯影、刻蝕、剝離等工藝步驟，最終在玻璃基板上形成所需的TFT陣列圖型。掩模板是影響光刻性能的關鍵物品，如果掩模板出現問題，例如被損壞、有灰塵等情況，將直接影響到光刻工藝的質量，使生產過程不能正常進行，因此，光刻工藝對掩模板的潔凈度要求很高，必須嚴格控制光刻工藝環境的潔凈度。

通常，光刻工藝的掩模板都有專門的掩模板盒子來存放和運輸。掩模盒的特征直接關系到掩模板的潔凈程度。現有的掩模板盒子如圖1所示，在使用狀態下，掩模板必須豎立著放置在該掩模盒中。其中下盒體為主要的承載部件，下盒體的兩側壁中間有固定掩模板的凹槽1。由于掩模板上有光刻圖案，從而使人可以拿捏的部分非常有限，并且掩模板的重量也很重。該結構在取放掩模板的時候非常不方便，需要兩個人，一人一只手同時捏住掩模板的兩個角，自上而下豎直取放掩模板。因此，當用現有掩模板來豎直取放掩模板的時候，或者因提捏的部分太大而磨損光刻圖案，或者因提捏的部分太小而使掩模板掉落摔壞，人工操作比較費力。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種掩模板運輸盒，能夠方便地對掩模板進行取放。

為解決上述技術問題，本實用新型提供的技術方案如下：

一種掩模板運輸盒，包括：盒體和盒蓋，所述盒體和盒蓋之間為可分離連接；

所述盒體具有相對的第一內壁和第二內壁；

在所述盒體的底面上沿著所述第一內壁和所述第二內壁分別設置有長條型的第一臺階結構；

所述第一臺階結構包括第一上臺階和第一下臺階，所述第一上臺階位于所述第一下臺階的外側，所述第一下臺階形成掩模板的支撐面，所述支撐面和所述盒體的開口平行。

所述第一臺階結構的高度小于所述盒體的高度。

所述盒體和盒蓋之間為活動連接。

所述盒體和所述盒蓋通過連接閥連接，當所述盒蓋展開時與所述盒體成一直線。

所述盒體為立方體，所述盒蓋為立方體，所述第一臺階結構與所述第一內壁平行。

所述盒體還具有相對的第三內壁和第四內壁；在所述盒體內沿著所述第三內壁和所述第四內壁分別設置有長條型的第二臺階結構，所述第二臺階結構包括第二上臺階和第二下臺階，所述第二上臺階位于所述第二下臺階的外側，所述第一臺階結構和所述第二臺階結構的高度一致；

所述第二臺階結構的兩端與所述第一內壁和所述第二壁之間有預定寬度的縫隙；所述第一臺階結構的兩端與所述第三內壁和所述第四內壁之間有預定寬度的縫隙；所述第一臺階結構和所述第二臺階結構之間有預定寬度的縫隙。

所述盒蓋內設置有以所述連接閥為對稱點、與所述第一臺階結構對稱的第三臺階結構和與所述第二臺階結構對稱的第四臺階結構。

所述盒蓋上設置有至少一層隔層架，所述盒體和所述隔層架通過第一連接閥連接，所述隔層架和所述盒蓋通過第二連接閥連接。

當所述隔層架為多層時，所述隔層架之間通過第三連接閥連接，所述盒體和所述隔層架中的最下一層隔層架通過第一連接閥連接，所述盒蓋和所述隔層架中的最上一層隔層架通過第二連接閥連接。

所述隔層架包括：平板；所述平板上表面的四周上設置有上擋板；所述平板下表面的四周上設置有下擋板；所述上擋板形成的支撐面與所述盒蓋的開口相適應；所述下擋板形成的支撐面與所述盒體的開口相適應；

所述平板具有相對的第一側和第二側以及相對的第三側和第四側；

所述平板的上表面沿著所述第一側和第二側分別設置有第五臺階結構；所述第五臺階結構包括第五上臺階和第五下臺階，所述第五上臺階位于所述第五下臺階的外側；

所述平板的下表面沿著所述第一側和第二側分別設置有第六臺階結構；所述第六臺階結構包括第六上臺階和第六下臺階，所述第六上臺階位于所述第五下臺階的外側；

所述平板的上表面沿著所述第三側和第四側分別設置有第七臺階結構；所述第七臺階結構包括第七上臺階和第七下臺階，所述第七上臺階位于所述第七下臺階的外側；所述第五臺階結構和所述第七臺階的高度一致；