[實(shí)用新型]一種拉晶管有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120366147.4 | 申請日: | 2011-09-18 |
| 公開(公告)號(hào): | CN202226958U | 公開(公告)日: | 2012-05-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳建民;陳建衛(wèi);陳磊 | 申請(專利權(quán))人: | 河南鴻昌電子有限公司 |
| 主分類號(hào): | C30B15/00 | 分類號(hào): | C30B15/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 461500 河南省*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 拉晶管 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,特別是一種拉晶管。
背景技術(shù)
拉晶管的形狀決定了生產(chǎn)出晶棒的形狀,現(xiàn)有技術(shù)中,拉晶管的截面是圓形的,生產(chǎn)出的晶棒需要線切割才能制出晶粒,圓形的晶棒具有產(chǎn)出率低,固定的不是很牢固的缺點(diǎn),晶棒的形狀有待于改進(jìn),這就決定了拉晶管的形狀需要改進(jìn)。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的就是針對上述缺點(diǎn),提供一種生產(chǎn)出的晶棒容易固定、產(chǎn)出率高的拉晶管。
本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是這樣的,一種拉晶管,包括拉晶管本體,拉晶管本體的截面大體上是圓形的,其特征是:在所述的拉晶管本體的內(nèi)側(cè)壁上還有一個(gè)沿著拉晶管本體長度方形的凹槽。
較好的技術(shù)效果是:所述的凹槽的上開口具有變窄的結(jié)構(gòu)。
本實(shí)用新型的有益效果是:這樣結(jié)構(gòu)的拉晶管具有生產(chǎn)出的晶棒容易固定、產(chǎn)出率高的的優(yōu)點(diǎn)。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型拉晶管的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中:1、拉晶管本體??2、凹槽??3、變窄的結(jié)構(gòu)。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
如圖1所示,一種拉晶管,包括拉晶管本體1,拉晶管本體1的截面大體上是圓形的,其特征是:在所述的拉晶管本體1的內(nèi)側(cè)壁上還有一個(gè)沿著拉晶管本體長度方形的凹槽2。
較好的技術(shù)效果是:所述的凹槽2的上開口具有變窄的結(jié)構(gòu)3。
這樣的拉晶管生產(chǎn)出的晶棒凹槽部分就是一個(gè)凸起棱,凸起棱具有固定的作用。
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