[實用新型]一種拉晶爐拉晶管支架有效
| 申請號: | 201120366142.1 | 申請日: | 2011-09-18 |
| 公開(公告)號: | CN202246993U | 公開(公告)日: | 2012-05-30 |
| 發明(設計)人: | 陳建民;陳建衛;陳磊 | 申請(專利權)人: | 河南鴻昌電子有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 461500 河南省*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 拉晶爐拉晶管 支架 | ||
技術領域
本實用新型涉及半導體生產技術領域,涉及拉晶爐,特別是一種拉晶爐拉晶管支架。
背景技術
拉晶爐是將原料在高溫情況下分子重新排列成為晶棒的設備,原料放置在玻璃制成的拉晶管中進行混合,在現有技術中,固定拉晶管的支架是一個卡子,卡子安裝在搖擺軸上,卡子固定著拉晶管的中間部位,這樣的裝置具有容易使拉晶管變形損壞的缺點、影響其正常生產。
發明內容
本實用新型的目的就是針對上述缺點,提供一種不易使拉晶管變形、破碎、容易固定拉晶管的拉晶爐拉晶管支架。
本實用新型所采取的技術方案是這樣的,一種拉晶爐拉晶管支架,包括支架本體,支架本體安裝在搖擺軸上,其特征是:所述的支架本體是底面是圓弧形結構的一段槽板,槽板的長度大于或等于拉晶管的長度,槽板的兩端具有堵頭,槽板上面具有圓弧形的固定件,固定件鉸接在槽板上。
本實用新型的有益效果是:這樣結構的拉晶爐拉晶管支架具有不易使拉晶管變形、破碎、容易固定拉晶管的優點。
附圖說明
圖1為本實用新型拉晶爐拉晶管支架的結構示意圖。
其中:1、支架本體??2、槽板??3、堵頭??4、固定件。
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。
如圖1所示,一種拉晶爐拉晶管支架,包括支架本體1,支架本體1安裝在搖擺軸上,其特征是:所述的支架本體1是底面是圓弧形結構的一段槽板2,槽板2的長度大于或等于拉晶管的長度,槽板2的兩端具有堵頭3,槽板2上面具有圓弧形的固定件4,固定件4鉸接在槽板上。
使用時,拉晶管放置在槽板上,用固定件固定,具有本實用新型的效果。
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