[實用新型]一種微動重載升降推車

有效

• 申請號: 201120364058.6
• 申請日: 2011-09-26
• 公開（公告）號: CN202346703U
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 邊旭;陳慧
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: B66F9/065
• 分類號: B66F9/065;B66F9/14;B66F9/075
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及升降推車領域，且特別涉及一種微動重載升降推車。

背景技術

目前，工程中常用的可移動升降臺主要存在以下幾個個問題：承載較小，一般常見的不會超過1t；用滾珠或車輪實現位置移動，水平面內位置移動的分辨率低，很難實現精確定位，即便設計了平臺與對接零部件的定位接口，也只能實現對少數零部件的有限個數位置的精確定位，應用范圍有限，適應性不足。

現有技術公布的一種氣動剪式升降臺，其包括底架、臺面板和舉升撐臂，臺面板由舉升撐臂撐于底架上，利用底架上氣動千斤頂的活塞桿與舉升撐臂連接，來實現對臺面板上負載的提升，其應用范圍如摩托車修理等，只要求將目標提升，對被提升目標的位置精確度要求并不高；再如現有技術公布的一種精密提升裝置，其包括承載板、提升機構、上面板、下面板和驅動裝置、固定/滾動裝置、高度限位機構等，可實現靈活地移動和轉動，且對提升高度進行了限位，但其仍無法實現對大負載水平向內位移的微量調整和精確定位。

在光刻機的整機集成以及維修維護過程中，很多零部件的安裝、檢測都要利用到可移動式、升降高度可調的移動平臺。由于光刻機零部件的特殊性，其眾多零部件自重都很大(如某型號掩模臺分系統自重1.2t)，而水平向內的安裝位置精確度又要求很高，現有的升降平臺產品不能滿足需求。

實用新型內容

現大多數大噸位的升降臺都為固定式的，無法移動，更無法進行高分辨率的水平移動和精確定位，針對這些不足以及現實需求，本實用新型提出了一種微動重載升降推車。

為了實現上述目的，本實用新型提出一種微動重載升降推車，包括車架，電動升降平臺和水平微動定位機構，所述車架包括車輪、把手和底盤焊接組件，所述電動升降平臺連接于所述底盤焊接組件和所述水平微動定位機構，所述水平微動定位機構包括：

彈簧復位機構、限位塊、支撐架焊接組件、氣墊模塊和微動調整機構，負載設置于所述支撐架焊接組件上，所述氣墊模塊設置于所述支撐架焊接組件下方，所述支撐架焊接組件呈長方形，所述微動調整機構設置于所述支撐架焊接組件相鄰兩側，所述彈簧復位機構設置于所述支撐架焊接組件另外相鄰兩側，所述限位塊設置于所述支撐架焊接組件的四個頂角處。

進一步的，所述微動調整機構包括千分尺旋鈕和微動調整機構底座，所述千分尺旋鈕安裝在所述微動調整機構底座上，所述千分尺旋鈕的球頭頂在所述支撐架焊接組件的焊接方管表面上。

進一步的，所述彈簧復位機構具有彈簧柱塞，所述彈簧柱塞的球頭頂在所述支撐架焊接組件的焊接方管表面上。

進一步的，所述限位塊具有定位和鎖緊機構，用于定位和鎖緊所述支撐架焊接組件。

進一步的，所述車輪包括安裝在所述底盤焊接組件四角的2個固定腳輪和2個平底剎車萬向輪。

進一步的，所述車架設置有腳輪調整組件，所述腳輪調整組件通過內六角螺釘固定在所述車架上。

進一步的，所述腳輪調整組件包括依次連接的固定座，連接臂和腳輪調整塊。

進一步的，所述固定座和連接臂通過轉軸和深溝球軸承裝配，并由上蓋板和下蓋板壓緊固定。

進一步的，所述連接臂和腳輪調整塊通過螺栓套接，所述腳輪調整塊設置有橡膠墊。

本實用新型提出的微動重載升降推車，利用氣墊的有利條件，輕松實現重載在升降平臺上的水平向微動，對承載零部件的外形尺寸限制放寬，適應性大大提高。而氣墊模塊限位機構的設置，可使得在氣墊完成位置微調后，利用限位塊將承載板位置鎖定，釋放氣墊，操作便捷。

附圖說明

圖1所示為本實用新型較佳實施例的微動重載升降推車的結構示意圖。

圖2所示為本實用新型較佳實施例的微動重載升降推車的使用狀態圖。

圖3所示為本實用新型較佳實施例的微動重載升降推車的俯視圖。

圖4所示為本實用新型較佳實施例的腳輪調整組件結構示意圖。

具體實施方式

為了更了解本實用新型的技術內容，特舉具體實施例并配合所附圖式說明如下。

請參考圖1，圖1所示為本實用新型較佳實施例的微動重載升降推車的結構示意圖。本實用新型提出一種微動重載升降推車，包括車架，電動升降平臺和水平微動定位機構，所述車架包括車輪、把手和底盤焊接組件，所述電動升降平臺連接于所述底盤焊接組件和所述水平微動定位機構，所述水平微動定位機構包括：