[實用新型]坩堝測溫儀輔助晶體生長裝置有效
| 申請號： | 201120355959.9 | 申請日： | 2011-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN202220222U | 公開（公告）日： | 2012-05-16 |
| 發明（設計）人： | 呂立強 | 申請（專利權）人： | 上海朗兆機電設備有限公司 |
| 主分類號： | C30B35/00 | 分類號： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海德昭知識產權代理有限公司 31204 | 代理人： | 繆利明 |
| 地址： | 200235 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 坩堝 測溫 輔助 晶體生長 裝置 | ||
1.坩堝測溫儀輔助晶體生長裝置，其特征在于，包括：
爐體，在所述爐體的上端設有上觀察窗，在所述爐體的下端設有下觀察窗；
溫場，所述溫場設置在所述爐體內，所述溫場的一端與所述爐體的上端殼體連接；
坩堝，所述坩堝設置在所述溫場內；
坩堝軸，所述坩堝軸設置在所述爐體內，所述坩堝軸的一端與所述溫場連接，所述坩堝軸的另外一端與所述爐體的下端殼體連接；
冷卻裝置，所述冷卻裝置設置在所述爐體下端外側；
測溫座，所述測溫座設置在所述爐體的外側。
2.根據權利要求1所述的坩堝測溫儀輔助晶體生長裝置，其特征在于，所述測溫座分為上測溫儀座和下測溫儀座，所述上測溫儀座通過所述上觀察窗設置在所述爐體的上端；所述冷卻裝置通過所述下觀察窗設置在所述爐體的下端，所述下測溫儀座與所述冷卻裝置連接。
3.根據權利要求2所述的坩堝測溫儀輔助晶體生長裝置，其特征在于，所述上測溫儀座與所述爐體之間還設有O型密封圈及石英玻璃。
4.根據權利要求2所述的坩堝測溫儀輔助晶體生長裝置，其特征在于，下測溫儀座通過防塵轉片與所述冷卻裝置連接。
5.根據權利要求1所述的坩堝測溫儀輔助晶體生長裝置，其特征在于，所述坩堝軸為中空軸。
6.根據權利要求1或2所述的坩堝測溫儀輔助晶體生長裝置，其特征在于，所述測溫座內設有內螺紋，所述上測溫儀座和所述下測溫儀座的內螺紋相同。
7.根據權利要求1所述的坩堝測溫儀輔助晶體生長裝置，其特征在于，所述冷卻裝置為水冷套。
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