[實用新型]圖像傳感器芯片的測試探針臺有效
| 申請號： | 201120355924.5 | 申請日： | 2011-09-15 |
| 公開（公告）號： | CN202196084U | 公開（公告）日： | 2012-04-18 |
| 發明（設計）人： | 朱玉萍;岑剛 | 申請（專利權）人： | 嘉興景焱智能裝備技術有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/02 | 分類號： | G01R1/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉善縣大*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖像傳感器 芯片 測試 探針 | ||
【權利要求書】：
1.圖像傳感器芯片的測試探針臺，包括有可前后、左右水平移動的XY平臺，在XY平臺上安裝有可上下運動的升降臺，升降臺上安裝有供放置晶圓并可作周向旋轉的載晶盤，在載晶盤的上方通過支撐架，懸空安裝有探針卡，其特征是在載晶盤下方的升降臺中設置有產生光線的光源。
2.根據權利要求1所述的圖像傳感器芯片的測試探針臺，其特征在于所述光源設置在載晶盤下方的中心位置，且光源的軸心與探針卡的軸心重合。
3.根據權利要求1所述的圖像傳感器芯片的測試探針臺，其特征在于所述的光源為LED陣列光源經凸鏡焦聚后的光源。
4.根據權利要求3所述的圖像傳感器芯片的測試探針臺，其特征在于所述的光源相對于載晶盤設有上下移動的升降裝置。
5.根據權利要求1所述的探針臺，其特征在于所述的光源為產生平行光線的光源。
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