[實用新型]生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120352910.8 | 申請日: | 2011-09-20 |
| 公開(公告)號: | CN202226954U | 公開(公告)日: | 2012-05-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉朝軒 | 申請(專利權(quán))人: | 洛陽金諾機械工程有限公司 |
| 主分類號: | C30B13/20 | 分類號: | C30B13/20;C30B15/14;H05B6/10;H05B6/36 |
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| 地址: | 471009 河南*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 生產(chǎn) 七根硅芯 球拍 拉制 結(jié)構(gòu) 高頻 線圈 | ||
【技術(shù)領(lǐng)域】
本實用新型涉及高頻線圈技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈。
【背景技術(shù)】
目前,硅芯在國內(nèi)使用量非常巨大;現(xiàn)有的硅芯、單晶硅及其它材料晶體區(qū)熔方式生產(chǎn)的工藝過程中,大多使用的是一種單目高頻線圈,其工作原理是:工作時通過給高頻線圈通入高頻電流,使高頻線圈產(chǎn)生電流對原料棒進(jìn)行感應(yīng)加熱,加熱后的原料棒上端頭形成融化區(qū),然后將仔晶通過拉制孔后插入原料棒上端的熔化區(qū),然后慢慢提升仔晶,熔化后的原料就會跟隨仔晶上升,形成一個新的柱形晶體,這個新的柱形晶體便是硅芯或其它材料晶體的制成品。
本人通過多次實驗發(fā)現(xiàn),由于現(xiàn)有拉制孔結(jié)構(gòu)的設(shè)置布局不合理,形成拉制出的柱形晶體為橢圓形,柱形晶體的橢圓度不太符合要求;尤其是在拉制五根以上硅芯時,柱形晶體的橢圓形現(xiàn)象更為明顯。
【發(fā)明內(nèi)容】
為了克服背景技術(shù)中的不足,本實用新型公開了一種生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈,本實用新型在同時生產(chǎn)六或七根硅芯中克服外圍環(huán)繞的拉制孔外側(cè)面與內(nèi)側(cè)面溫度不一而造成柱形晶體的橢圓形現(xiàn)象,在環(huán)繞的拉制孔內(nèi)側(cè)設(shè)置引流槽,通過引流槽可使外圍環(huán)繞的拉制孔電流均勻分布在拉制孔周圍,通過電流使硅芯或其它晶體材料受熱均勻拉制時更為規(guī)范,柱形晶體的橢圓度有效減少,獲取的柱形晶體更為符合要求。
為了實現(xiàn)上述發(fā)明的目的,本實用新型采用如下技術(shù)方案:
一種生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈,包括高頻線圈、進(jìn)水管路、出水管路、連接座和地線連接機構(gòu),所述高頻線圈呈圓形結(jié)構(gòu),在圓形高頻線圈的上部面中部設(shè)有向下凹陷面,在圓形高頻線圈的下部面中部設(shè)有向上的環(huán)形臺階,在高頻線圈的外部環(huán)繞設(shè)置冷卻水道,拉制孔或化料孔設(shè)置在圓形高頻線圈的中部,在拉制孔或化料孔外部的高頻線圈上均勻設(shè)置六個環(huán)繞的拉制孔,由拉制孔或化料孔向呈放射狀設(shè)有六個導(dǎo)流槽,所述六個導(dǎo)流槽的外端頭設(shè)置在六個拉制孔之間,所述六個拉制孔的朝向拉制孔或化料孔一側(cè)分別設(shè)有引流槽,所述引流槽的端部與拉制孔或化料孔留有間距;所述六個導(dǎo)流槽的其中一個通過開口順直貫通至高頻線圈外緣,冷卻水道的兩端在開口的兩側(cè)分別形成進(jìn)水管路和出水管路,進(jìn)水管路和出水管路外端分別設(shè)有連接座,在高頻線圈的外部設(shè)有地線連接機構(gòu)。
所述的生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈,在所述六個導(dǎo)流槽的外端頭分別設(shè)有端孔。
所述的生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈,在所述六個導(dǎo)流槽外端頭分別設(shè)置的端孔為圓形或多角形。
所述的生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈,所述引流槽的端部設(shè)置為“V”形角或圓弧形,引流槽與拉制孔的連接一端設(shè)置為弧形過渡或角過渡。
所述的生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈,所述進(jìn)水管路和出水管路的通孔穿過所述連接座,在所述連接座的進(jìn)水管路和出水管路的通孔上下兩側(cè)分別設(shè)有安裝孔。
所述的生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈,所述連接座為多角形連接座或雙半圓形連接座或橢圓形連接座。
所述的生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈,在高頻線圈外部環(huán)繞設(shè)置冷卻水道為,在高頻線圈的外部上環(huán)面或外部下環(huán)面或外緣面開槽,將所述冷卻水道環(huán)埋在高頻線圈內(nèi);或在高頻線圈的外緣面通過釬焊或銅焊或銀焊焊接冷卻水道,使冷卻水道與高頻線圈形成一體。
所述的生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈,六個拉制孔的上部口處設(shè)有環(huán)形倒角。
所述的生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈,拉制孔或化料孔的上部口處設(shè)有環(huán)形倒角。
所述的生產(chǎn)六或七根硅芯的球拍形拉制孔結(jié)構(gòu)的高頻線圈,所述地線連接機構(gòu),在高頻線圈的外部上環(huán)面或下環(huán)面或外緣面設(shè)有地線連接板,或在高頻線圈的外部上環(huán)面或下環(huán)面或外緣打孔通過螺絲連接地線。
由于采用上述技術(shù)方案,本實用新型具有如下有益效果:
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