[實用新型]硅片裝盒裝置

有效

• 申請號: 201120348889.4
• 申請日: 2011-09-17
• 公開（公告）號: CN202245327U
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: 王燕清
• 申請（專利權）人: 無錫先導自動化設備股份有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07;B65G47/52;B65G47/91
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 殷紅梅;涂三民

1.?一種硅片裝盒裝置，其特征是：在機架（7）上設有空硅片盒上料機構、升降輸送平臺機構、三軸傳動機構、輸送機構、翻轉機構、推硅片機構、三軸傳動機構與翻轉機構配合，輸送機構與翻轉機構配合，推硅片機構與托送硅片機構配合，推硅片機構與升降輸送平臺機構配合，升降輸送平臺機構與空硅片盒上料機構配合，儲料機構與輸送機構配合。

2.如權利要求1所述的硅片裝盒裝置，其特征是：所述空硅片盒上料機構包括在機架（7）上固定安裝的內外兩塊空硅片盒上料豎板（3），在兩塊空硅片盒上料豎板（3）的左右兩端部均轉動安裝有空硅片盒上料滾輪軸（2），在兩根空硅片盒上料滾輪軸（2）上設有空硅片盒上料輸送帶。

3.如權利要求1所述的硅片裝盒裝置，其特征是：所述升降輸送平臺機構包括在機架（7）上固定的升降輸送用連接板（10），在升降輸送用連接板（10）上固定有升降輸送用線軌（11），在升降輸送用線軌（11）上滑動連接有升降輸送用滑塊（71），在升降輸送用連接板（10）上通過軸承座安裝有升降輸送用絲桿（14），在升降輸送用絲桿（14）上螺接有升降輸送用螺母（15），升降輸送用連接座（78）與升降輸送用螺母（15）、升降輸送用滑塊（71）固定一體，在升降輸送用連接座（78）上轉動安裝有升降輸送用滾輪軸（19），在升降輸送用滾輪軸（19）的一端部安裝有升降輸送用被動帶輪（16），在升降輸送用滾輪軸（19）上設有升降輸送用輸送帶；在升降輸送用連接座（78）上安裝有升降輸送用電機，升降輸送用電機的輸出軸上安裝有升降輸送用主動帶輪（17），升降輸送用主動帶輪（17）與升降輸送用被動帶輪（16）通過升降輸送用同步帶連接。

4.如權利要求1所述的硅片裝盒裝置，其特征是：所述三軸傳動機構包括在機架（7）上固定的兩塊三軸傳動用內外向上連接板（49），在每塊三軸傳動用內外向上連接板（49）上固定有三軸傳動用內外向軸承座（47），三軸傳動用內外向軸承座（47）上轉動安裝有三軸傳動用內外向帶輪（46），在三軸傳動用內外向帶輪（46）上設有三軸傳動用內外向同步帶（56），在三軸傳動用內外向同步帶之間固定有兩組三軸傳動用內外向齒形塊（52）與兩組三軸傳動用內外向下連接塊（53），在三軸傳動用內外向下連接塊（53）上固定有三軸傳動用內外向下連接板（51），在三軸傳動用內外向下連接板（51）上固定有三軸傳動用內外向滑塊（50），在三軸傳動用內外向連接板（49）上固定有三軸傳動用內外向線軌（48），三軸傳動用內外向線軌（48）與三軸傳動用內外向滑塊（50）配合；

在三軸傳動用內外向連接板（51）的下方固定有三軸傳動用左右向內連接板（59），三軸傳動用左右向連接板（59）上固定有三軸傳動用左右向線軌（60），在三軸傳動用左右向線軌（60）上滑動連接有三軸傳動用左右向滑塊（61），在三軸傳動用左右向內連接板（59）上固定有三軸傳動用左右向軸承座（62），在三軸傳動用左右向軸承座（62）上轉動安裝有三軸傳動用左右向帶輪（63），在三軸傳動用左右向帶輪（63）上設有三軸傳動用左右向同步帶，在三軸傳動用左右向同步帶之間固定有兩組三軸傳動用左右向齒形塊（58）與兩組三軸傳動用左右向下連接塊（57），在三軸傳動用左右向下連接塊（57）上固定有連接三軸傳動用左右向外連接板（64），三軸傳動用左右向外連接板（64）上固定有三軸傳動用左右向電缸（65），三軸傳動用左右向電缸（65）上固定有三軸傳動用左右向連接桿（66），在三軸傳動用左右向連接桿（66）上設有三軸傳動用左右向真空吸盤（67）。

5.如權利要求1所述的硅片裝盒裝置，其特征是：所述輸送機構包括在機架（7）上固定的兩塊輸送用支撐板（44），在輸送用支撐板（44）的兩端部轉動安裝有輸送用滾輪軸（45），在輸送用滾輪軸（45）上設有輸送用輸送帶。

6.如權利要求1所述的硅片裝盒裝置，其特征是：所述翻轉機構包括在機架（7）上固定的翻轉用底板（75），翻轉用底板（75）上設有翻轉用電機（73）及翻轉用減速機（74），在翻轉用減速機（74）的輸出軸上連接有翻轉用旋轉軸（76），在翻轉用旋轉軸（76）上安裝有翻轉用真空吸盤（77）。

7.如權利要求1所述的硅片裝盒裝置，其特征是：所述推硅片機構包括在機架（7）上固定的推硅片用電缸（23），在推硅片用電缸（23）的的滑動塊上安裝有推硅片用真空吸盤（22）。