[實用新型]一種硅片傳送機構有效
| 申請號： | 201120348080.1 | 申請日： | 2011-09-16 |
| 公開（公告）號： | CN202245326U | 公開（公告）日： | 2012-05-30 |
| 發明（設計）人： | 吳磊 | 申請（專利權）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B65G49/07 | 分類號： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 214443 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 傳送 機構 | ||
1.一種硅片傳送機構，其特征在于，包括：連接傳送帶、至少三個支撐件、至少三個皮帶輪，其中，
所述連接傳送帶由所述皮帶輪托起，在所述皮帶輪的帶動下傳送硅片，所述支撐件與所述皮帶輪相連，所述支撐件用于支撐所述連接傳送帶的平衡。
2.根據權利要求1所述的硅片傳送機構，其特征在于，所述皮帶輪包括第一皮帶輪、第二皮帶輪、第三皮帶輪；
所述支撐件包括共同支撐所述連接傳送帶平衡的第一支撐件、第二支撐件、第三支撐件；
所述第一皮帶輪、所述第二皮帶輪、所述第三皮帶輪托起所述連接傳送帶，所述第一皮帶輪在轉動電機的轉動下通過所述連接傳送帶帶動所述第二皮帶輪與所述第三皮帶輪一起轉動，由所述連接傳送帶傳送所述硅片；
所述第一支撐件與所述第一皮帶輪相連，所述第二支撐件與所述第二皮帶輪相連，所述第三支撐件與所述第三皮帶輪相連。
3.根據權利要求1所述的硅片傳送機構，其特征在于，所述皮帶輪包括第一皮帶輪、第二皮帶輪、第三皮帶輪、第四皮帶輪；
所述支撐件包括共同支撐所述連接傳送帶平衡的第一支撐件、第二支撐件、第三支撐件、第四支撐件；
所述第一皮帶輪、所述第二皮帶輪、所述第三皮帶輪、所述第四皮帶輪托起所述連接傳送帶，所述第一皮帶輪在轉動電機的轉動下通過所述連接傳送帶帶動所述第二皮帶輪、所述第三皮帶輪、所述第四皮帶輪一起轉動，由所述連接傳送帶傳送所述硅片；
所述第一支撐件與所述第一皮帶輪相連，所述第二支撐件與所述第二皮帶輪相連，所述第三支撐件與所述第三皮帶輪相連，所述第四支撐件與所述第四皮帶輪相連。
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