[實用新型]藍寶石晶體生長裝置有效
| 申請號: | 201120345683.6 | 申請日: | 2011-09-15 |
| 公開(公告)號: | CN202247012U | 公開(公告)日: | 2012-05-30 |
| 發明(設計)人: | 李留臣;馮金生 | 申請(專利權)人: | 江蘇華盛天龍光電設備股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/20 | 分類號: | C30B29/20;C30B15/30 |
| 代理公司: | 西安弘理專利事務所 61214 | 代理人: | 羅笛 |
| 地址: | 213200 江蘇省常州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 藍寶石 晶體生長 裝置 | ||
1.一種藍寶石晶體生長裝置,其特征在于:包括安裝在坩堝軸(1)上端的坩堝(3),坩堝(3)周圍設置有加熱器(5),坩堝(3)上方設置有籽晶桿(8),籽晶桿(8)的下端連接有籽晶(7);坩堝(3)、加熱器(5)、籽晶(7)、籽晶桿(8)都處在真空室(2)內,真空室(2)設置有抽真空裝置,給坩堝軸(1)設置有一套用于上下移動的移動裝置和一套用于轉動的傳動裝置,給籽晶桿(8)同樣設置有一套用于上下移動的移動裝置和一套用于轉動的傳動裝置,所有移動裝置、傳動裝置、加熱器(5)、抽真空裝置均與控制器連接。
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