[實(shí)用新型]痕量氧分析儀管路優(yōu)化結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120342943.4
• 申請(qǐng)日: 2011-09-14
• 公開（公告）號(hào): CN202230050U
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 林德工程（杭州）有限公司
• 主分類號(hào): G01N27/26
• 分類號(hào): G01N27/26
• 代理公司: 杭州金源通匯專利事務(wù)所(普通合伙) 33236
• 代理人: 林君勇

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種痕量氧分析儀，尤其涉及一種在樣品氣或分析儀吹掃氣不合格的情況下可保證痕量氧分析儀正常使用的痕量氧分析儀管路優(yōu)化結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

隨著電子行業(yè)尤其是像半導(dǎo)體，液晶面板等行業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)于超高純電子氣的需要也迅速增長(zhǎng)，其對(duì)氧含量的要求通常是幾十個(gè)ppb，有的甚至要求達(dá)到1ppb。一般的原電池型氧分析儀在通入純度達(dá)標(biāo)的樣品氣后，仍然需要數(shù)天時(shí)間來降至所需要的純度，而裝置調(diào)試過程中時(shí)常發(fā)生跳車，這就又增加了分析儀降至所需純度的時(shí)間，因此在線分析儀對(duì)樣品氣實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確分析成為人們的關(guān)注焦點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型主要是提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在樣品氣或分析儀吹掃氣不合格的情況下可確保痕量氧分析儀不會(huì)與不合格氣體接觸，并在樣品氣或分析儀吹掃氣達(dá)標(biāo)后能快速恢復(fù)使用的痕量氧分析儀管路優(yōu)化結(jié)構(gòu)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的當(dāng)樣品氣或分析儀吹掃氣不合格時(shí)會(huì)直接進(jìn)入痕量氧分析儀，由此導(dǎo)致分析儀恢復(fù)時(shí)間長(zhǎng)，影響工作效率等的技術(shù)問題。

本實(shí)用新型的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的：一種痕量氧分析儀管路優(yōu)化結(jié)構(gòu)，包括痕量氧分析儀及其進(jìn)氣管路和排放管路，在進(jìn)氣管路上設(shè)有三通閥，所述三通閥分別與分析儀吹掃氣源、樣品氣源及量程氣源對(duì)應(yīng)連接，在對(duì)應(yīng)于三通閥與痕量氧分析儀之間的進(jìn)氣管路上設(shè)有二位四通電磁閥，在排放管路上設(shè)有二位開關(guān)電磁閥，所述二位四通電磁閥和二位開關(guān)電磁閥連接在檢測(cè)控制系統(tǒng)上，且對(duì)應(yīng)于二位四通電磁閥中的一個(gè)端口通過旁路管路與二位開關(guān)電磁閥的進(jìn)氣端口相連。通過在痕量氧分析儀的進(jìn)氣管路上安裝一個(gè)二位四通電磁閥，在排放管路上安裝一個(gè)二位開關(guān)電磁閥，正常工作時(shí)，二位開關(guān)電磁閥狀態(tài)為開，來自樣品氣源的樣品氣（或分析儀吹掃氣源的分析儀吹掃氣）通過二位四通電磁閥的兩個(gè)端口進(jìn)入痕量氧分析儀后進(jìn)入排放管路，其中一部分樣品氣經(jīng)過二位開關(guān)電磁閥后再次進(jìn)入排放管路，另一部分樣品氣經(jīng)過旁路管路回流至二位四通電磁閥，并通過二位四通電磁閥的另外兩個(gè)端口持續(xù)吹掃管線后排空。當(dāng)檢測(cè)控制系統(tǒng)檢測(cè)到樣品氣有純度變壞趨勢(shì)或者控制系統(tǒng)連鎖（如裝置跳車）時(shí)，檢測(cè)控制系統(tǒng)控制二位四通電磁閥和二位開關(guān)電磁閥同時(shí)切換，二位開關(guān)電磁閥關(guān)閉，此時(shí)旁路管路內(nèi)純度仍舊合格的樣品氣經(jīng)過二位四通電磁閥上的兩個(gè)端口再次進(jìn)入痕量氧分析儀進(jìn)行循環(huán)，而來自樣品氣源的不合格樣品氣通過二位四通電磁閥其它兩個(gè)端口將樣品氣體排出，當(dāng)樣品氣純度合格或者裝置恢復(fù)正常工作后，檢測(cè)控制系統(tǒng)控制二位四通電磁閥和二位開關(guān)電磁閥復(fù)位，系統(tǒng)即恢復(fù)正常，只在原有管路中增加一個(gè)二位四通電磁閥和二位開關(guān)電磁閥，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在樣品氣或分析儀吹掃氣不合格的情況下均可通過檢測(cè)控制系統(tǒng)自動(dòng)切換二位四通電磁閥和二位開關(guān)電磁閥，確保痕量氧分析儀不會(huì)進(jìn)入不合格氣體，并在樣品氣或分析儀吹掃氣達(dá)標(biāo)后能快速恢復(fù)使用，痕量氧分析儀恢復(fù)迅速，提高工作效率。

作為優(yōu)選，所述二位四通電磁閥包括A1端口、A2端口、A3端口和A4端口，其中的A3端口與旁路管路相連，在A4端口上連接有第二排放管路。通過二位四通電磁閥上的四個(gè)端口可自動(dòng)轉(zhuǎn)換管路內(nèi)氣體的流動(dòng)方向，可靠性好，自動(dòng)化程度高。

作為優(yōu)選，在對(duì)應(yīng)于二位四通電磁閥與痕量氧分析儀之間的進(jìn)氣管路上設(shè)有零點(diǎn)純化器。可在樣品氣純度變壞時(shí)，根據(jù)需要手動(dòng)開啟零點(diǎn)純化器，使痕量氧分析儀內(nèi)維持純度合格的環(huán)境，進(jìn)一步保證痕量氧分析儀不會(huì)與不合格氣體接觸。

作為優(yōu)選，所述二位四通電磁閥和二位開關(guān)電磁閥均為隔膜閥。隔膜閥流阻小，性能穩(wěn)定，價(jià)格便宜。

作為優(yōu)選，在所述分析儀吹掃氣源與三通閥之間的進(jìn)氣管路上設(shè)有分析儀吹掃氣調(diào)壓閥和分析儀吹掃氣過濾器。通過分析儀吹掃氣調(diào)壓閥可任意調(diào)節(jié)分析儀吹掃氣的進(jìn)氣壓力，分析儀吹掃氣過濾器可去除分析儀吹掃氣內(nèi)的粉塵雜質(zhì)，防止粉塵雜質(zhì)進(jìn)入痕量氧分析儀而降低痕量氧分析儀的精度。

作為優(yōu)選，在所述樣品氣源與三通閥之間的進(jìn)氣管路上設(shè)有樣品氣調(diào)壓閥和樣品氣過濾器。通過樣品氣調(diào)壓閥可任意調(diào)節(jié)樣品氣的進(jìn)氣壓力，樣品氣過濾器可去除樣品氣內(nèi)的粉塵雜質(zhì)，防止粉塵雜質(zhì)進(jìn)入痕量氧分析儀而降低痕量氧分析儀的精度。

作為優(yōu)選，在所述量程氣源與三通閥之間的進(jìn)氣管路上設(shè)有量程氣過濾器。量程氣過濾器可去除量程氣內(nèi)的粉塵雜質(zhì)，防止粉塵雜質(zhì)進(jìn)入痕量氧分析儀而降低痕量氧分析儀的精度。