[實用新型]一種整片晶圓納米壓印光刻機

有效

• 申請號: 201120336814.4
• 申請日: 2011-09-08
• 公開（公告）號: CN202205025U
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發明（設計）人: 蘭紅波;丁玉成
• 申請（專利權）人: 青島理工大學
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 張勇

1.一種整片晶圓納米壓印光刻機，其特征是，它包括：壓印頭(1)、曝光系統(2)、模板(3)、承片臺(4)、脫模噴嘴(5)、機架(6)、大理石底座(7)、真空管路(8)和壓力管路(9)，其中，所述模板(3)固定于壓印頭(1)上，承片臺(4)置于模板(3)的垂直正下方，并固定在大理石底座(7)上，承片臺周邊設有脫模噴嘴(5)；曝光系統(2)的紫外光源置于壓印頭(1)內；真空管路(8)與承片臺(4)相連，真空管路(8)和壓力管路(9)分別與壓印頭(1)相連。

2.根據權利要求1所述的一種整片晶圓納米壓印光刻機，其特征是：所述壓印頭的結構為：包括模板工作臺(101)、曝光工作室(102)、法蘭盤(103)、滾珠絲杠(104)、聯軸器(105)、伺服電機(106)、導向架(107)、導向桿(108)和三個支承調節塊(109)，其中，曝光工作室(102)與模板工作臺(101)通過螺釘相連，模板工作臺(101)內部設有水平管路(10103)和垂直管路(10102)；曝光工作室(102)與滾珠絲杠(104)通過法蘭盤(103)相連接，曝光工作室(102)的內頂部(10201)均勻分布安裝紫外光源，紫外光源上連接光路通道和控制單元，組成曝光系統(2)；聯軸器(105)安裝在滾珠絲杠(104)上，伺服電機(106)安裝在聯軸器(105)上，導向架(107)安裝在機架(6)下部，導向桿(108)安裝在導向架(107)內部；3個支承調節塊(109)置于模板工作臺(101)的底部；模板工作臺(101)兩側面設有進氣孔A(101011)、進氣孔B(101012)、進氣孔C(101013)；

或所述壓印頭的結構為：包括模板工作臺(101)、曝光工作室(102)、法蘭盤(103)、滾珠絲杠(104)、聯軸器(105)、伺服電機(106)、支承調節塊(109)、滑塊(1011)、小支架(1012)、連接件(1013)和導軌(1014)，其中，曝光工作室(102)與模板工作臺(101)通過螺釘相連，模板工作臺(101)內部設有水平管路(10103)和垂直管路(10102)；曝光工作室(102)與滾珠絲杠(104)通過法蘭盤(103)相連接，曝光工作室(102)的內頂部(10201)均勻分布安裝紫外光源，紫外光源上連接光路通道和控制單元，組成曝光系統(2)；聯軸器(105)安裝在滾珠絲杠(104)上，伺服電機(106)安裝在聯軸器(105)上，滑塊(1011)通過滑軌(1014)安裝在機架(6)上，小支架(1012)安裝在機架(6)和伺服電機(106)之間，連接件(1013)安裝在機架(6)和聯軸器(105)之間；3個支承調節塊(109)置于模板工作臺(101)的底部；模板工作臺(101)兩側面設有進氣孔A(101011)、進氣孔B(101012)、進氣孔C(101013)；

或：所述壓印頭的結構為：包括模板工作臺(101)、曝光工作室(102)、法蘭盤(103)、滾珠絲杠(104)、聯軸器(105)、伺服電機(106)、導向桿(108)、支承調節塊(109)、滑塊(1011)、小支架(1012)和連接件(1013)，其中，曝光工作室(102)與模板工作臺(101)通過螺釘相連，模板工作臺(101)內部設有水平管路(10103)和垂直管路(10102)；曝光工作室(102)與滾珠絲杠(104)通過法蘭盤(103)相連接，曝光工作室(102)的內頂部(10201)均勻分布安裝紫外光源，紫外光源上連接光路通道和控制單元，組成曝光系統(2)；聯軸器(105)安裝在滾珠絲杠(104)上，伺服電機(106)安裝在聯軸器(105)上，滑塊(1011)安裝在機架(6)下部，導向桿(108)安裝在滑塊(1011)內部，小支架(1012)安裝在機架(6)和伺服電機(106)之間，連接件(1013)安裝在機架(6)和聯軸器(105)之間；3個支承調節塊(109)置于模板工作臺(101)的底部；模板工作臺(101)兩側面設有進氣孔A(101011)、進氣孔B(101012)、進氣孔C(101013)。

3.根據權利要求2所述的一種整片晶圓納米壓印光刻機，其特征是：所述壓印頭(1)中模板工作臺(101)的內部管路結構為：包括模板工作臺底面(10104)，模板工作臺底面(10104)上設有模板工作臺凹槽面(10101)和水平管路(10103)，模板工作臺凹槽面(10101)上設有垂直管路(10102)，垂直管路(10102)的一端與模板工作臺凹槽面(10101)相通，另一端與水平管路(10103)相通。