[實用新型]一種PECVD用載板的掛鉤

有效

• 申請號: 201120335760.X
• 申請日: 2011-09-08
• 公開（公告）號: CN202217651U
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: 金若鵬
• 申請（專利權）人: 浙江向日葵光能科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/205
• 代理公司: 紹興市越興專利事務所 33220
• 代理人: 張謙

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池的生產設備，具體涉及一種板式PECVD所使用載板的掛鉤設計。

背景技術

板式PECVD（等離子體增強化學氣相沉積法）工藝運行時，硅片通過載板上的掛鉤定位后傳送進入PECVD設備腔體完成鍍膜工藝。所使用載板隨著使用時間的增加，載板上沉積的氮化硅越來越多，會對硅片的鍍膜均勻性產生明顯的影響，容易造成鍍膜色差。所以，載板在使用一段時間后需要使用一定濃度的HF酸溶液清洗去除沉積在載板上的氮化硅。在清洗之前，為避免金屬離子與HF酸發生反應后對載板的污染，需要拆卸載板上的所有金屬掛鉤，待清洗完成后再重新安裝新的掛鉤。

現有的掛鉤設計如圖1、圖2所示。掛鉤安裝在載板上的方式通過鉗子將鉤體1上端部2的金屬板材咬合固定實現。安裝后如圖3所示，在咬合過程采用墊片3來減輕對載板的損傷。拆卸掛鉤時，用鉗子將咬合的鉤體1上端部2擰開。采用墊片的方式在掛鉤的安裝和拆卸過程中，只能減緩對載板橫向（與掛鉤截面平行的方向）的磨損，對載板縱向（與掛鉤截面垂直的方向）的磨損無法有效避免。隨著載板清洗次數的增加，掛鉤更換次數隨之增加，載板的磨損逐漸嚴重，掛鉤對硅片的定位精度明顯變差，導致載板的PECVD工藝運行時，硅片的碎片和掉片率明顯的提升，載板的實際使用壽命快速的降低。

發明內容

為解決上述問題，本實用新型提供一種可有效減少掛鉤更換過程中對載板損耗的PECVD用載板的掛鉤。

為實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案為：

一種PECVD用載板的掛鉤，包括下部開口的方形框架，框架兩個支臂的底端分別向外延伸形成彎鉤，兩個支臂的下端內側分別設置有一個可轉動的頂片，兩個頂片相對稱設置，且頂片的上端面為平面。

作為上述方案的進一設置，所述頂片可在水平面上轉動。

所述頂片可在水平面上向外轉動90°。

所述頂片的形狀為矩形、三角形、梯形中的任意一種。

所述支臂的截面呈矩形。

所述框架的兩個支臂相對稱設置。

所述框架為不銹鋼框架，彎鉤為不銹鋼彎鉤、頂片為不銹鋼頂片。

本實用新型一種PECVD用載板的掛鉤，在安裝過程中，只需將掛鉤兩個支臂上的頂片向內旋轉90°即可有效固定在載板上，無需鉤體的咬合；拆卸時，只需將掛鉤兩個支臂上的頂片向外旋轉90°即可快速方便將掛鉤拆卸下來。因為安裝過程中無需鉤體咬合，所以拆卸過程也非常簡單。從而掛鉤在安裝和拆卸的過程中，對載板的磨損會明顯的降低，有效的延長載板的使用壽命。

以下結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步說明。

附圖說明

圖1為現有掛鉤的結構示意圖；

圖2為圖1的俯視圖；

圖3為現有掛鉤安裝后的示意圖；

圖4為本實用新型的結構示意圖；

圖5為圖4的俯視圖；

圖6為本實用新型安裝后的結構示意圖；

圖7為圖6的俯視圖。

具體實施方式

如圖4、圖5所示，本實用新型一種PECVD用載板的掛鉤，包括下部開口的方形框架4，框架4兩個支臂5的底端分別向外延伸形成彎鉤6，兩個支臂5的下端內側分別設置有一個可轉動的頂片7，兩個頂片7相對稱設置，且頂片7的上端面71為平面。頂片7可在水平面上向外轉動90°。頂片7的形狀為矩形、三角形、梯形中的任意一種。支臂5的截面呈矩形。框架4的兩個支臂5相對稱設置。框架4為不銹鋼框架，彎鉤6為不銹鋼彎鉤、頂片7為不銹鋼頂片。

本實用新型一種PECVD用載板的掛鉤，在實際安裝過程中僅需要轉動頂片7即可將掛鉤很好的固定到載板上；因為安裝時掛鉤支臂5無需咬合，所以掛鉤拆卸過程簡單快速。

相比現有掛鉤安裝過程和拆卸過程咬合對載板的磨損，本實用新型設計的掛鉤在安裝和拆卸過程對載板的磨損明顯降低。

結合圖6、圖7所示，本實用新型一種PECVD用載板的掛鉤安裝時，框架4內側頂部設置有墊片8，頂片7的上端面71也設置有墊片8。

本實用新型一種PECVD用載板的掛鉤安裝完成后，對硅片的定位無任何影響，可有效的滿足硅片上下料過程中的定位精度要求。

上述實施例僅用于解釋說明本實用新型的發明構思，而非對本實用新型權利保護的限定，凡利用此構思對本實用新型進行非實質性的改動，均應落入本實用新型的保護范圍。