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[實(shí)用新型]一種硅片制絨藥液的激活管有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201120335743.6 申請日: 2011-09-08
公開(公告)號: CN202217696U 公開(公告)日: 2012-05-09
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 趙春慶;蔣劍波;莫毓東;陸佳佳 申請(專利權(quán))人: 昊誠光電(太倉)有限公司
主分類號: H01L31/18 分類號: H01L31/18
代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103 代理人: 孫仿衛(wèi);趙艷
地址: 215400 江蘇省蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 硅片 藥液 激活
【權(quán)利要求書】:

1.一種硅片制絨藥液的激活管,其特征在于:所述硅片制絨藥液的激活管具有耐酸堿的激活管本體,在所述激活管本體的兩端分別開設(shè)一對開口,在所述激活管本體的本體上開設(shè)均勻分布的孔,所述激活管本體的內(nèi)腔通過一對所述開口、所述孔與外部相連通,設(shè)置可分別封住一對所述開口的一對塞子,所述塞子的本體的一端可插入所述開口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片制絨藥液的激活管,其特征在于:所述孔為圓形孔或多邊形孔,所述孔的徑向最大尺寸不超過4mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片制絨藥液的激活管,其特征在于:所述塞子的本體的另一端沿周向方向向外凸出形成蓋子。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片制絨藥液的激活管,其特征在于:設(shè)置纏繞固定在所述塞子的本體上的用于提拉所述硅片制絨藥液的激活管的提拉線。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

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