[實用新型]一種帶有磁性保護膜的金屬掩膜裝置有效
| 申請號： | 201120332766.1 | 申請日： | 2011-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN202208755U | 公開（公告）日： | 2012-05-02 |
| 發明（設計）人： | 金光虎 | 申請（專利權）人： | 南昌歐菲光科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330000 江西省*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 帶有 磁性 保護膜 金屬 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種帶有磁性保護膜的金屬掩膜裝置，其特征在于：該裝置為一種自內向外依次設置有磁性保護膜（4）、基材（3）、金屬掩膜（2）的層狀結構，金屬掩膜（2）的外表面設有電磁鐵（1）。
2.根據權利要求1所述的帶有磁性保護膜的金屬掩膜裝置，其特征在于：所述的金屬掩膜（2）的材質為磁性金屬，其厚度為0.02~1.5mm。
3.?根據權利要求1所述的帶有磁性保護膜的金屬掩膜裝置，其特征在于：所述基材（3）為透明基板，其厚度為0.2~3mm。
4.?根據權利要求1所述的帶有磁性保護膜的金屬掩膜裝置，其特征在于：所述磁性保護膜（4）厚度為10~300um。
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