[實(shí)用新型]氮化鋁單晶的制備裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120314515.0
• 申請(qǐng)日: 2011-08-26
• 公開（公告）號(hào): CN202359230U
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 莊德津;劉良宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島鋁鎵光電半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): C30B23/00
• 分類號(hào): C30B23/00;C30B29/38
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長(zhǎng)明;王寶筠

1.一種氮化鋁單晶的制備裝置，包括升降托盤、升降托盤上的坩堝和套在坩堝外的多孔的保溫層，其特征在于，還包括石英玻璃套管、感應(yīng)加熱線圈和第一密封連接件、第二密封連接件，所述石英玻璃套管套在所述保溫層和坩堝外，所述感應(yīng)加熱線圈套在石英玻璃套管的外壁上，第一密封連接件位于石英玻璃套管下端與升降托盤之間，第二密封連接件位于石英玻璃套管上端之上，所述石英玻璃套管的下端口和上端口分別由第一密封連接件和第二密封連接件實(shí)現(xiàn)密封，所述石英玻璃套管由中空的石英內(nèi)管和石英外管以及石英內(nèi)管和石英外管間的冷卻水組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述第一密封連接件包括：第一法蘭、第一O型密封圈、第二O型密封圈和第三O型密封圈，所述第一法蘭位于升降托盤與石英玻璃套管下端之間且位于石英玻璃套管的外側(cè)，所述第一法蘭的下表面通過第一O型密封圈與所述升降托盤密封連接，第二O型密封圈位于所述第一法蘭的內(nèi)壁與石英內(nèi)管下端的外壁之間，第三O型密封圈位于所述第一法蘭內(nèi)壁與石英外管下端的外壁之間，石英玻璃套管下端具有軸向伸展的空間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備裝置，其特征在于，所述第一O型密封圈為雙O型密封圈，雙O型密封圈之間為真空。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述第二密封連接件包括：第二法蘭、蓋板、第四O型密封圈、第五O型密封圈和第六O型密封圈，所述第二法蘭位于石英玻璃套管上端之上且位于石英玻璃套管的外側(cè)，所述蓋板通過第六O型密封圈密封連接所述第二法蘭，第四O型密封圈位于所述第二法蘭的內(nèi)壁與石英內(nèi)管上端的外壁之間，第五O型密封圈位于所述第二法蘭內(nèi)壁與石英外管上端的外壁之間，石英玻璃套管上端具有軸向伸展的空間。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的制備裝置，其特征在于，所述第二O型密封圈和所述第四O型密封圈為雙O型密封圈，雙O型密封圈之間為真空。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述感應(yīng)加熱線圈套在所述石英玻璃套管的外壁上可移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述多孔的保溫層的材料為石墨多孔型材，所述多孔的保溫層由中空?qǐng)A柱體和中空?qǐng)A柱體兩端的實(shí)心圓盤組成，所述實(shí)心圓盤的正中央有冷卻通道。