[實用新型]一種基于相干激光的表面微結構成形系統有效
| 申請號： | 201120305870.1 | 申請日： | 2011-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN202212695U | 公開（公告）日： | 2012-05-09 |
| 發明（設計）人： | 黃延祿;楊彥哲;湯勇;楊永強 | 申請（專利權）人： | 華南理工大學 |
| 主分類號： | B23K26/36 | 分類號： | B23K26/36;B23K26/067 |
| 代理公司： | 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245 | 代理人： | 羅觀祥 |
| 地址： | 510640 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 相干 激光 表面 微結構 成形 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于相干激光的表面微結構成形系統，其特征在于，包括依次光路設置的激光發生器、光束整形模塊、第一半反射鏡、第二全反射鏡，在第一半反射鏡和第二全反射鏡的下面設置有電控移動工作臺，電控移動工作臺用于放置基質，所述第一半反射鏡和第二全反射鏡設置有伺服電機，所述電控移動工作臺、伺服電機和激光發生器與計算機連接。
2.根據權利要求1所述的基于相干激光的表面微結構成形系統，其特征在于，所述激光發生器包括依次連接的擴束鏡、部分反射鏡、調Q開關、聚光腔、全反射鏡。
3.根據權利要求2所述的基于相干激光的表面微結構成形系統，其特征在于，所述伺服電機為數字控制伺服電機。
4.根據權利要求3所述的基于相干激光的表面微結構成形系統，其特征在于，所述光束整形模塊采用非球面透鏡組整形系統或者微透鏡陣列整形系統。
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