[實(shí)用新型]真空密封裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120302056.4 | 申請(qǐng)日: | 2011-08-18 |
| 公開(公告)號(hào): | CN202247009U | 公開(公告)日: | 2012-05-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 宋奇 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海朗兆機(jī)電設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào): | C30B29/20 | 分類號(hào): | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司: | 上海德昭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31204 | 代理人: | 繆利明 |
| 地址: | 200235 上海市*** | 國省代碼: | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 真空 密封 裝置 | ||
1.真空密封裝置,包括:
水冷式插板閥,所述水冷式插板閥為中空的規(guī)則的多面體;
中空水冷套,所述中空水冷套貫穿設(shè)置與所述水冷式插板閥;
旋轉(zhuǎn)手柄,所述旋轉(zhuǎn)手柄的一端與所述水冷式插板閥連接;
其特征在于,所述中空水冷套上設(shè)有觀察窗口以及輔助抽氣口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空密封裝置,其特征在于,所述觀察窗口為圓柱式,所述觀察窗口的一端與所述中空水冷套連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空密封裝置,其特征在于,所述輔助抽氣口為圓柱式,所述輔助抽氣口的一端與所述中空水冷套連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的真空密封裝置,其特征在于,所述觀察窗口及所述輔助抽氣口相互獨(dú)立。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空密封裝置,其特征在于,在所述輔助抽氣口及所述中空水冷套的端口都設(shè)有法蘭。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空密封裝置,其特征在于,在所述觀察窗口處設(shè)有石英玻璃。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空密封裝置,其特征在于,所述石英玻璃通過氟橡膠O型圈進(jìn)行密封。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空密封裝置,其特征在于,所述法蘭為KF法蘭。
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