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[實用新型]用于輻照后核燃料和材料掃描電鏡樣品制備的濺射裝置有效

專利信息
申請號: 201120298770.0 申請日: 2011-08-17
公開(公告)號: CN202221386U 公開(公告)日: 2012-05-16
發明(設計)人: 彭艷華;溫榜;王斐;冷茂林;周云;朱偉 申請(專利權)人: 中國核動力研究設計院
主分類號: G01N1/28 分類號: G01N1/28
代理公司: 核工業專利中心 11007 代理人: 高尚梅
地址: 610041 四川*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 輻照 核燃料 材料 掃描電鏡 樣品 制備 濺射 裝置
【權利要求書】:

1.一種用于輻照后核燃料和材料掃描電鏡樣品制備的濺射裝置,其特征在于:該裝置包括控制模塊(9)和工作模塊,其中工作模塊位于熱室內,控制模塊(9)位于熱室前區;工作模塊包括底座(1)、真空室(2)、頂蓋(3)、把手(4)、電極(5)、樣品臺(6)、金靶(7)和真空泵(8),工作模塊的下部為底座(1),底座(1)上安裝有真空室(2),在底座(1)上且真空室(2)內安裝有樣品臺(6),在真空室(2)的上端設置有頂蓋(3),在頂蓋(3)的下部安裝有金靶(7),在頂蓋(3)的上部設置有把手(4),在頂蓋(3)的中心安裝有電極(5),真空泵(8)通過底座(1)與真空室(2)連接;控制模塊(9)與電極(5)連接,控制模塊(9)與底座(1)連接。

2.根據權利要求1所述的用于輻照后核燃料和材料掃描電鏡樣品制備的濺射裝置,其特征在于:所述的控制模塊(9)通過電纜與電極(5)連接。

3.根據權利要求1所述的用于輻照后核燃料和材料掃描電鏡樣品制備的濺射裝置,其特征在于:所述的控制模塊(9)通過氣管與底座(1)連接。

4.根據權利要求1所述的用于輻照后核燃料和材料掃描電鏡樣品制備的濺射裝置,其特征在于:所述的底座(1)到真空室(2)上端頂蓋(3)的高度與熱室窺視窗窗口視線的范圍相適應。

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