[實用新型]單晶硅棒端面研磨設備有效

申請號：	201120294930.4	申請日：	2011-08-15
公開（公告）號：	CN202185822U	公開（公告）日：	2012-04-11
發明（設計）人：	于景	申請（專利權）人：	江西金葵能源科技有限公司
主分類號：	B24B37/04	分類號：	B24B37/04;B24B37/16;B24B57/02
代理公司：	萍鄉益源專利事務所 36119	代理人：	周益麗
地址：	337000 江西省萍***	國省代碼：	江西;36
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摘要：
搜索關鍵詞：	單晶硅端面研磨設備
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【權利要求書】：

1.?單晶硅棒端面研磨設備，它包括固定設置在縱向移動工作臺（16）上的橫向移動工作臺（10）和固定設置在橫向移動工作臺上的定位夾緊臺（9）以及設置在上下移動工作臺（18）上并可變速旋轉的研磨盤（2），其特征是：所述研磨盤包括可隨旋轉主軸（33）轉動的中間盤（30），與中間盤固定相連的上模板（24）和下模板（25）、以及固定設置在下模板上的研磨層（27），所述中間盤內設置有可通入研磨液的貯液腔（31），貯液腔與進液管（29）上端相通，進液管下端穿過上模板和下模板與研磨層上的分液腔（26）相通，所述研磨層用拋光布制成。

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