[實用新型]用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具有效
| 申請號： | 201120294234.3 | 申請日： | 2011-08-14 |
| 公開（公告）號： | CN202202021U | 公開（公告）日： | 2012-04-25 |
| 發明（設計）人： | 黃春峰;李強 | 申請（專利權）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;C23F1/08;C23F1/32 |
| 代理公司： | 上海脫穎律師事務所 31259 | 代理人： | 李強 |
| 地址： | 201617 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 硅片 腐蝕 加工 新型 夾具 | ||
1.用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，包括支撐框，支撐框設置有放置片架的通孔；支撐框上安裝有提架，其特征在于，所述提架包括至少兩根與支撐框垂直的連桿，兩根連桿端部通過橫桿連接；還包括壓條，所述壓條可靠近支撐框或遠離支撐框運動地安裝在提架上。
2.根據權利要求1所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述壓條橫跨通孔。
3.根據權利要求1所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，還包括壓框，所述壓條安裝于壓框上；所述壓框可靠近支撐框或遠離支撐框運動地安裝在提架上。
4.根據權利要求3所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述壓框形狀與支撐框形狀相適應；所述壓框與連桿可拆卸連接。
5.根據權利要求3所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述提架包括兩根連桿和一根橫桿；兩根連桿分別有一端與支撐框連接，另一端通過橫桿連接；所述壓框可沿連桿移動卡設于兩根連桿上。
6.根據權利要求5所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述支撐框設置有與連桿相配合的兩個開口；兩根連桿分別與兩個開口相配合。
7.根據權利要求3或5所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述壓框上設置有限位塊，限位塊位于壓框與支撐框之間。
8.根據權利要求7所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述限位塊可拆卸地安裝在壓框上。
9.根據權利要求1所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，還包括用于放置硅片的片架，所述片架設置在通孔內。
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