[實用新型]研磨裝置有效
| 申請號： | 201120294220.1 | 申請日： | 2011-08-12 |
| 公開（公告）號： | CN202174490U | 公開（公告）日： | 2012-03-28 |
| 發明（設計）人： | 陳楓 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/34 | 分類號： | B24B37/34;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種研磨裝置，包括研磨平臺和研磨裝置控制臺，其特征在于，所述研磨裝置還包括樣品輸送管和金屬離子檢測儀；其中，所述樣品輸送管的一端靠近所述研磨平臺，所述樣品輸送管的另一端通過所述金屬離子檢測儀與所述研磨裝置控制臺連接。
2.如權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述金屬離子檢測儀為鎳離子檢測儀。
3.如權利要求2所述的研磨裝置，其特征在于，所述鎳離子檢測儀包括反應管道、光電比色計、顯色劑輸送管和載流液輸送管；其中，
所述光電比色計與所述反應管道連接；
所述研磨裝置控制臺與所述光電比色計連接；
所述顯色劑輸送管和載流液輸送管分別與所述反應管道連接；
所述樣品輸送管與所述反應管道連接。
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