[實(shí)用新型]三分量振動(dòng)校準(zhǔn)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120293896.9
• 申請日: 2011-08-14
• 公開（公告）號: CN202204593U
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何聞;王春宇;沈潤杰;賈叔仕
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 33100
• 代理人: 趙芳

1.三分量振動(dòng)校準(zhǔn)裝置，包括三分量標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺(tái)，所述的三分量標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺(tái)包括底座，所述的底座上設(shè)有沿X軸向振動(dòng)的X向電磁振動(dòng)臺(tái)，沿Y軸向振動(dòng)的Y向電磁振動(dòng)臺(tái)，沿Z軸向振動(dòng)的Z向電磁振動(dòng)臺(tái)，和與三個(gè)電磁振動(dòng)臺(tái)連接的三維振動(dòng)平臺(tái)，被校三維測振傳感器置于所述的三維振動(dòng)平臺(tái)上；

其特征在于：每個(gè)軸向的電磁振動(dòng)臺(tái)均配有一個(gè)檢測該軸向振動(dòng)的激光測振儀，所述的激光測振儀獲取的振動(dòng)信號輸入數(shù)據(jù)采集器中，所述的數(shù)據(jù)采集器與處理器連接；

每個(gè)軸向的電磁振動(dòng)臺(tái)上均設(shè)有能獲取表征該軸向振動(dòng)臺(tái)實(shí)際振動(dòng)波形的標(biāo)準(zhǔn)傳感器，所述的標(biāo)準(zhǔn)傳感器的輸出端與反饋控制器的輸入端連接；

所述的反饋控制器另一輸入端與多通道信號發(fā)生器連接，所述的多通道信號發(fā)生器發(fā)出多路標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)信號、并在反饋控制器中與所述的各軸向標(biāo)準(zhǔn)傳感器的輸出進(jìn)行相減，所述的反饋控制器得到偏差信號；所述的反饋控制器輸出的偏差信號按照控制算法運(yùn)算后輸出到功放組進(jìn)行功率放大、并輸入到對應(yīng)軸向的振動(dòng)臺(tái)中、以驅(qū)動(dòng)對應(yīng)軸向的振動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生糾偏運(yùn)動(dòng)；所述的多通道信號發(fā)生器受控于所述的處理器；

所述的被校三維測振傳感器的輸出電壓輸入所述的數(shù)據(jù)采集器中；

所述的處理器讀入數(shù)據(jù)采集器所采集的激光測振儀、被校傳感器的輸出信號，并計(jì)算被校三維測振傳感器的靈敏度矩陣。

2.如權(quán)利要求1所述的三分量振動(dòng)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：X、Y軸向的電磁振動(dòng)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)部件背面設(shè)有激光反射鏡，激光測振儀測量光從X、Y軸向的電磁振動(dòng)臺(tái)底部入射，各軸向電磁振動(dòng)臺(tái)均設(shè)有允許所述的測量光貫穿、到達(dá)所述的激光反射鏡的光路通道、以檢測各軸向電磁振動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)部件的運(yùn)動(dòng)；

Z軸激光反射鏡安裝于Z向電磁振動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)部件的表面，所述的Z軸激光反射鏡正對一傾斜放置的輔助反射鏡，Z軸激光測振儀發(fā)出的測量光經(jīng)輔助反射鏡到達(dá)Z軸激光反射鏡，檢測Z軸向電磁振動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)部件的運(yùn)動(dòng)；所述的輔助反射鏡通過支架固定于所述的底座。

3.如權(quán)利要求2所述的三分量振動(dòng)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述的標(biāo)準(zhǔn)傳感器輸出的實(shí)際振動(dòng)波形經(jīng)放大器組放大后輸入所述的反饋控制器中；放大后的實(shí)際振動(dòng)波形經(jīng)多通道數(shù)據(jù)采集器輸入處理器中，處理器存儲(chǔ)該放大后的實(shí)際振動(dòng)波形。

4.如權(quán)利要求1-3之一所述的三分量振動(dòng)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：每個(gè)軸向的電磁振動(dòng)臺(tái)均通過與各振動(dòng)臺(tái)對應(yīng)的運(yùn)動(dòng)解耦裝置與所述的三維振動(dòng)平臺(tái)連接；

所述的運(yùn)動(dòng)解耦裝置包括由剛性材料制成的第一邊框和第二邊框，第一邊框和第二邊框相互扣合，所述的第一邊框和第二邊框均由外邊、內(nèi)邊、外邊與內(nèi)邊之間的第一連接側(cè)邊和第二連接側(cè)邊組成，邊框的外邊與內(nèi)邊相對，邊框的內(nèi)邊插入另一個(gè)邊框內(nèi)；

所述第一邊框的內(nèi)邊中設(shè)有氣流通道和與所述的氣流通道連通的通氣孔，所述的通氣孔與外界連通；所述的第一邊框的內(nèi)邊與第二邊框的內(nèi)邊和外邊之間均有微小間隙，所述的微小間隙形成第一邊框內(nèi)邊的氣浮導(dǎo)軌；所述的第二邊框的內(nèi)邊與第一邊框的外邊之間設(shè)有防止所述的第二邊框內(nèi)邊與第一邊框外邊接觸的間隔；所述的氣流通道與外部壓縮空氣源連通；

所述的第一邊框的外邊與電磁振動(dòng)臺(tái)連接，所述的第二邊框的外邊與三維振動(dòng)平臺(tái)連接。

5.如權(quán)利要求4所述的三分量振動(dòng)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述的第一邊框的內(nèi)邊設(shè)有多條氣流通道，每條支流氣道上均勻分布多個(gè)所述的通氣孔。

6.如權(quán)利要求5所述的三分量振動(dòng)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述的氣流通道包括多條平行設(shè)置的支流氣道和連通所有的支流氣道的干流氣道，所述的干流氣道與所述的外部壓縮空氣源連接，所述的支流氣道一端連通干流氣道，另一端由密封裝置密封。

7.如權(quán)利要求6所述的三分量振動(dòng)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述的氣流通道一端密封，另一端與所述的外部壓縮空氣源直接連接。

8.如權(quán)利要求6所述的三分量振動(dòng)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：邊框?yàn)榫匦慰颉A形框、橢圓框或梯形框。

9.如權(quán)利要求7所述的三分量振動(dòng)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：邊框?yàn)榫匦慰颉A形框、橢圓框或梯形框。