[實用新型]電極盒結構

有效

• 申請號: 201120288966.1
• 申請日: 2011-08-10
• 公開（公告）號: CN202208760U
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 郭鋒
• 申請（專利權）人: 上海曙海太陽能有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/24
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 劉計成

技術領域

本實用新型涉及電子設備和太陽能電池技術，尤其涉及一種用于真空鍍膜機的電極盒結構。

背景技術

非晶硅薄膜太陽能電池是20多年來國際上新發展起來的一項太陽能電池新技術。非晶硅薄膜太陽能電池的硅材料厚度只有1微米左右，是單晶硅太陽能電池硅材料厚度的1/200-1/300，與單晶硅太陽能電池相比，制備這種薄膜所用硅原料很少，薄膜生長時間較短，設備制造簡單，容易大批量連續生產，根據國際上有關專家的估計，非晶硅薄膜太陽能電池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太陽能電池。

非晶硅材料是由氣相沉積形成的，目前已被普遍采用的方法是等離子增強型化學氣相沉積(PECVD)法。PECVD是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)。

薄膜化學氣相沉積是非晶硅薄膜太陽能電池的規模化生產的核心工藝，實現該工藝的核心設備是電極盒。目前電極盒的反應腔體積較小，在進行氣相沉積時，工藝窗口很小，在進行多種不同工藝氣體氣相沉淀時很難保證非晶硅膜厚和膜特性的均勻性。

實用新型內容

針對上述現有技術的不足，本實用新型要解決的技術問題是提供一種可增大工藝窗口的電極盒結構。

為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案：

一種電極盒結構，其包括左、右兩個電極盒，所述左、右兩個電極盒通過一對接板連接，所述電極盒的頂部設有頂蓋，所述左電極盒的左端、右電極盒的右端均設有端蓋。

優選的，所述電極盒內設有16組電極組。

優選的，所述電極盒的進氣口處設有勻氣板。

優選的，所述電極盒為鋁合金結構。

優選的，所述電極盒位于一電極盒小車上。

上述技術方案具有如下有益效果：該電極盒結構由左右兩個電極盒組成，這樣可有效增大其反應腔體積，在反應腔體積大增大的前提下，通過適當的工藝壓力和氣體輸送方法就可以獲得高的氣體利用率，增大工藝窗口、進而在轉換不同工藝氣體、比例配方和制程的過程中取得均勻的非晶硅膜厚和膜特性。

上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖對本專利進行詳細說明。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的爆炸圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的優選實施例進行詳細介紹。

如圖1所示，該電極盒結構包括一左電極盒1和一右電極盒2，左電極盒1和右電極盒2通過對接板5連接。左電極盒1的左端設有端蓋3，右電極盒2的右端設有端蓋4，左電極盒1的頂部分別設有頂蓋6，右電極盒2的頂部設有頂蓋8。

左電極盒1、右電極盒2均采用鋁合金結構，每個電極盒內設有16組電極組，左電極盒1進氣口處設有勻氣板7，右電極盒2進氣口處設有勻氣板9，這樣可使進入電極盒腔體的氣體更加的均勻。左電極盒1、右電極盒2位于一電極盒小車10上，這樣可使電極盒運送、安裝更加的方便。

該電極盒結構由左右兩個電極盒組成，這樣可有效增大其反應腔，在反應腔體積大增大的前提下，通過適當的工藝壓力和氣體輸送方法就可以獲得高的氣體利用率，增大工藝窗口、進而在轉換不同工藝氣體、比例配方和制程的過程中取得均勻的非晶硅膜厚和膜特性。

以上對本實用新型實施例所提供的一種電極盒結構進行了詳細介紹，對于本領域的一般技術人員，依據本實用新型實施例的思想，在具體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本實用新型的限制，凡依本實用新型設計思想所做的任何改變都在本實用新型的保護范圍之內。