[實(shí)用新型]真空晶棒切割機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120285998.6
• 申請(qǐng)日: 2011-08-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202241642U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-05-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉寶成
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 河南恒昌電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/04
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種晶棒切割機(jī)，晶棒切割機(jī)是將晶棒加工成晶粒的設(shè)備。

背景技術(shù)

晶棒切割機(jī)具有晶棒固定板和切割線，在現(xiàn)有技術(shù)中，所述的晶棒固定板和切割線是裸露的，在裸露情況下進(jìn)行切割，具有晶粒容易氧化的缺點(diǎn)，影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn)，提供一種晶粒質(zhì)量更高、表面無(wú)氧化現(xiàn)象的真空晶棒切割機(jī)。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：真空晶棒切割機(jī)，包括晶棒固定板和切割線，其特征是：所述的晶棒固定板和切割線外面開(kāi)具有一個(gè)密閉的罩體，所述的罩體具有活動(dòng)門(mén)，所述的罩體還具有外接的管道。

進(jìn)一步的講，所述的罩體側(cè)部是玻璃。

本實(shí)用新型的有益效果是：這樣結(jié)構(gòu)的真空晶棒切割機(jī)具有使晶粒質(zhì)量更高、表面無(wú)氧化現(xiàn)象的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1、晶棒固定板??2、切割線???3、罩體???4、活動(dòng)門(mén)???5、管道。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。

如圖1所示，真空晶棒切割機(jī)，包括晶棒固定板1和切割線2，其特征是：所述的晶棒固定板1和切割線2外面開(kāi)具有一個(gè)密閉的罩體3，所述的罩體3具有活動(dòng)門(mén)4，所述的罩體3還具有外接的管道5。

進(jìn)一步的講，所述的罩體側(cè)部是玻璃。

使用時(shí)，管道接抽真空機(jī)，使加工在真空的情況下工作，具有本實(shí)用新型的目的。