[實用新型]一種還原爐電極的密封結構

有效

• 申請號: 201120282601.8
• 申請日: 2011-08-05
• 公開（公告）號: CN202193621U
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發明（設計）人: 沈偉;徐予晗;鄭小剛
• 申請（專利權）人: 四川瑞能硅材料有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 徐宏;吳彥峰

技術領域

本實用新型涉及一種MSA還原爐電極的密封裝置。

背景技術

目前，多晶硅技術，主要采用中高壓四氟套對還原爐電極密封和絕緣，隔熱陶瓷絕緣環與之配套使用。但是，隨著還原爐沉積硅棒的長大，硅棒輻射的熱量破壞靠近底盤的大部分四氟套結構，造成一系列不利于生產的后果，主要體現在以下幾個方面：(1)電極和底盤的氣密性低導致物料泄露，需要停爐更換四氟套和重新做爐體氣密性檢測，降低單爐多晶硅產量。(2)硅芯在高壓擊穿時容易發生打火拉弧，需要重新更換硅芯和四氟套，避免不安全因素的發生。(3)反復裝拆因絕緣和氣密性原因的爐筒，增加了工作人員的工作量，同時延長還原爐的開停爐的周期，無法滿足長期高效的運行生產。(4)燒壞的四氟套無法二次利用，增加公司的生產運營成本。因此需要對還原爐電極的密封裝置進行改進。

實用新型內容

本實用新型的發明目的在于：針對上述存在的問題，提供一種結構簡單，成本低廉的還原爐電極的密封結構，采用該密封機構，有力地解決因電極密封性差引起的物料泄露和頻繁停開爐的難題，提高了多晶硅還原工序的工作效率和多晶硅的產品質量。

本實用新型采用的技術方案如下：

本實用新型的還原爐電極的密封結構，包括電極本體和電極端蓋，所述電極端蓋設置于電極本體上，所述電極本體與電極端蓋之間通過相互重疊的石墨墊與陶瓷環進行密封和絕緣。

由于采用了上述結構，將原有的電極密封四氟套改為陶瓷環和石墨墊相互間隔重疊的結構，進行密封和絕緣，防止電極在硅棒生長后期由于溫度過高而燒壞，減少開停爐的次數，且該還原爐電極的密封結構，結構簡單，成本低廉，有力地解決因電極密封性差引起的物料泄露和頻繁停開爐的難題，提高了多晶硅還原工序的工作效率和多晶硅的產品質量，減少工作人員的工作量，縮短還原爐的開停爐的周期，滿足長期高效的運行生產。

本實用新型的還原爐電極的密封結構，所述陶瓷環為兩個，且分布位于石墨墊的上下方，形成密封墊結構。

由于采用了上述結構，陶瓷環為兩個，且分布位于石墨墊的上下方，即石墨墊位于兩陶瓷環之間，從而形成密封墊結構，覺有很好的密封性能和絕緣性能，力地解決因電極密封性差引起的物料泄露和頻繁停開爐的難題，且結構簡單，成本低廉，適合推廣應用。

本實用新型的還原爐電極的密封結構，所述石墨墊采用金屬絲纏繞，形成金屬石墨墊片。

由于采用了上述結構，石墨墊采用金屬絲纏繞，形成金屬石墨墊片，保證該密封結構具有很好的絕緣效果，其能夠與陶瓷環相配合，形成良好的密封效果，從而有力地解決因電極密封性差引起的物料泄露和頻繁停開爐的難題，提高了多晶硅還原工序的工作效率和多晶硅的產品質量。

本實用新型的還原爐電極的密封結構，所述陶瓷環采用三氧化二鋁制成。

由于采用了上述結構，陶瓷環主要材質為三氧化二鋁的耐高溫防靜電材料，石墨墊是用金屬絲纏繞。利用其理化性質的特殊性，陶瓷環與金屬絲纏繞的石墨墊密封密實，從而保證還原爐電極的密封性能良好，能夠減小維修次數，從而增加單爐多晶硅產量。

綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是：

1.????本實用新型的還原爐電極的密封結構，結構簡單，成本低廉，有力地解決因電極密封性差引起的物料泄露和頻繁停開爐的難題；

2.????本實用新型的還原爐電極的密封結構，提高了多晶硅還原工序的工作效率和多晶硅的產品質量，減少工作人員的工作量，縮短還原爐的開停爐的周期，滿足長期高效的運行生產；

3.????本實用新型的還原爐電極的密封結構，能夠減小維修次數，從而增加單爐多晶硅產量。

附圖說明

圖1是本實用新型的還原爐電極的結構示意圖；

圖2是圖1中Ⅰ部分的放大圖。

圖中標記：1-電極本體、2-電極端蓋、3-金屬石墨墊片、4-陶瓷環。

具體實施方式

下面結合附圖，對本實用新型作詳細的說明。

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。