[實用新型]一種硅片吸筆

有效

• 申請號: 201120267335.1
• 申請日: 2011-07-26
• 公開（公告）號: CN202163900U
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發明（設計）人: 王守志
• 申請（專利權）人: 浚鑫科技股份有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G49/05;B65G7/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

技術領域

本實用新型涉及光伏電池制造領域，更具體地說，涉及一種硅片吸筆。

背景技術

光伏電池的制造，特別是晶體硅太陽能電池的制造過程，其中包括以下工序：對硅片表面制絨清洗，使用硅片吸筆將硅片吸起再放置于石英舟中，接著將石英舟及硅片放置于擴散爐中進行擴散，擴散完畢后，使用硅片吸筆將硅片取出放置于普通片夾或者花籃中進行去磷玻璃及刻蝕，然后使用硅片吸筆將硅片吸起再放入石墨舟中進行PECVD(Plasma-Enhanced?Chemical?Vapor?Deposition中文名稱為等離子增強化學氣相沉積)工序。

下面簡單介紹一下現有技術在上述工序中使用的硅片吸筆的結構及其工作原理。

如圖1所示，現有技術中的硅片吸筆包括氣體通道管2和吸盤1，氣體通道管2具有連通其外部與內部的泄壓孔，吸盤1具有矩形吸槽，并且矩形吸槽與氣體通道管2連通。當吸附硅片時，將泄壓孔堵住，然后使氣體通道管2吸氣，吸盤1即可將硅片吸氣，待將硅片放置于預定的位置后，將泄壓孔敞開，即可使得硅片與吸盤1分開。

在生產中硅片吸筆不斷的重復著上述的動作，當使用一段時間后，硅片吸筆吸盤1的表面就會造成一定程度的磨損，使得吸盤1表面比較粗糙并且會產生一些顆粒狀的雜質。然而硅片表面絨面非常小，極易被破壞，因此粗糙的吸盤1表面會對絨面造成非常大的傷害，進而造成硅片的嚴重的漏電現象，并且也影響到了硅片的美觀性；而吸盤1上的雜質也會附著在硅片的表面，進而影響后續工藝和硅片的電性能。基于上述情況，當硅片吸筆磨損到一定程度時就應該及時更換新的硅片吸筆，以避免由于吸盤1磨損而造成的對硅片的傷害和性能的影響，而吸盤1的磨損速度較快，這樣就需要頻繁更換硅片吸筆，使得硅片吸筆的更換量較大，并且通常情況硅片的生產量較大，這樣就進一步得增大了硅片吸筆的更換量。

因此，如何減小硅片吸筆的更換量是本領域技術人員目前需要解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種硅片吸筆，以減小硅片吸筆的更換量。

為解決上述技術問題，本實用新型提供如下技術方案：

一種硅片吸筆，包括吸盤和具有連通其外部與內部泄壓孔的氣體通道管，所述吸盤具有吸槽，并且所述吸槽與所述氣體通道管連通，還包括具有吸孔的吸膜，所述吸膜粘貼于所述吸盤表面，并且所述吸孔與所述吸槽相對應。

優選地，所述吸膜為BOPET膜。

優選地，所述吸膜的一側的表面為粘性面，并且所述粘性面與所述吸盤的表面粘貼。

優選地，所述吸膜的厚度為0.15mm。

優選地，所述吸槽內具有表面與所述吸盤的表面相平的支撐條。

優選地，所述吸槽為矩形槽，所述吸孔為橢圓孔，并且所述吸孔的長軸方向與所述吸槽的長邊方向一致。

優選地，所述硅片吸筆包括兩個所述支撐條，所述支撐條垂直交叉分布。

優選地，所述吸膜具有與所述支撐條相對應的垂直交叉的保護條。

優選地，所述硅片吸筆至少包括兩個所述支撐條，所述支撐條平行間隔分布。

優選地，所述吸膜具有與所述支撐條相對應的平行間隔分布的保護條。

相對上述背景技術，本實用新型提供的硅片吸筆包括吸盤和具有連通其外部與內部泄壓孔的氣體通道管，吸盤具有吸槽，并且吸槽與氣體通道管連通，還包括具有吸孔的吸膜，吸膜粘貼于吸盤表面，并且吸孔與吸槽相對應。工作時，壓緊氣體通道管，堵住泄壓孔，擠壓氣體通道管，然后將吸盤對準需要吸起的硅片，硅片即被硅片吸筆吸住，此時就可以將硅片放置于預定的位置，松開泄壓孔，這就完成了對硅片的移動。由于吸盤的表面粘貼有吸膜，當使用一段時間后，吸膜的表面就會造成一定程度的磨損，此時更換一張新的吸膜，這樣就可以減小對硅片絨面造成的傷害，減小了漏電的可能性，并且還提高了硅片的美觀性，同時還避免了頻繁更換硅片吸筆，即減小了硅片吸筆的更換量，降低了硅片的生產成本。

附圖說明

圖1為現有技術中所提供的硅片吸筆的結構示意圖；

圖2為本實用新型所提供的硅片吸筆的結構示意圖；

圖3為本實用新型所提供的吸膜的結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型的目的是提供一種硅片吸筆，以減小硅片吸筆的更換量。