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[實(shí)用新型]硅片運(yùn)載裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201120264752.0 申請日: 2011-07-25
公開(公告)號: CN202163829U 公開(公告)日: 2012-03-14
發(fā)明(設(shè)計)人: 劉琴 申請(專利權(quán))人: 浙江思博恩新材料科技有限公司
主分類號: B65G21/22 分類號: B65G21/22
代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 代理人: 逯長明
地址: 314117 浙江省嘉興*** 國省代碼: 浙江;33
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 硅片 運(yùn)載 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種硅片運(yùn)載裝置,其特征在于,包括:設(shè)置有軌道的支撐架(1),所述軌道(12)上設(shè)置有輪槽(121);和

位于所述支撐架(1)上,且設(shè)置有與所述輪槽(121)滾動配合的硅膠滾輪(22)的承載小車。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片運(yùn)載裝置,其特征在于,所述承載小車包括移動架(2)和位于所述移動架(2)上的承載板(3),所述硅膠滾輪(22)通過滾輪安裝板(24)設(shè)置在所述移動架(2)的側(cè)架(21)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片運(yùn)載裝置,其特征在于,所述支撐架(1)上至少設(shè)置有兩組所述軌道。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或者3所述的硅片運(yùn)載裝置,其特征在于,還包括設(shè)置在所述軌道(12)上限制所述滾輪安裝板(24)側(cè)向偏移的側(cè)限位塊(14)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片運(yùn)載裝置,其特征在于,所述側(cè)限位塊(14)的縱截面形狀為L形,所述軌道(12)的側(cè)面設(shè)置有與所述側(cè)限位塊(14)的底端配合的安裝槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片運(yùn)載裝置,其特征在于,所述側(cè)限位塊(14)的底端嵌設(shè)在所述安裝槽中。

7.根據(jù)權(quán)利要求2或者3所述的硅片運(yùn)載裝置,其特征在于,還包括設(shè)置在所述軌道(12)的兩個終端的端限位塊(13)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅片運(yùn)載裝置,其特征在于,所述端限位塊(13)與所述移動架(2)相對的一側(cè)設(shè)置有緩沖橡膠塊或者緩沖彈簧。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅片運(yùn)載裝置,其特征在于,還包括分別設(shè)置在所述移動架(2)兩端的兩個把手(23)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅片運(yùn)載裝置,其特征在于,所述支撐架(1)、移動架(2)均由多條鋁型材組裝而成。?

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計專利(升級中);

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