[實用新型]一種硅片脫水設備

有效

• 申請號: 201120263175.3
• 申請日: 2011-07-22
• 公開（公告）號: CN202188722U
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: 沈彪;李向清;胡德良
• 申請（專利權）人: 江陰市愛多光伏科技有限公司
• 主分類號: F26B5/08
• 分類號: F26B5/08;F26B25/00;H01L21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片脫水設備，包括設置在機箱內的脫水機構、脫水輔助設備及電控系統，上述脫水機構包括脫水桶和可繞脫水桶中心軸旋轉的用來固定被脫水硅片的脫水盤，脫水盤的轉動軸通過傳動裝置和電控系統的伺服電機連接，上述脫水輔助設備包括向脫水桶內噴純水以及氮氣的噴射裝置和桶內加熱器，本裝置由電控系統控制脫水機構的脫水轉動和脫水輔助設備的運作，其特征在于，上述電控系統由交流伺服驅動電路、單片機或可編程控制器、觸摸屏和交流伺服電機組成，觸摸屏的數據通訊端分別和單片機或可編程控制器的數據通訊端及交流伺服驅動電路的通訊連接端連接，交流伺服驅動電路的電機連接端及編碼器連接端分別和交流伺服電機的電源輸入端及編碼器輸出端電連接。

2.根據權利要求1所述的硅片脫水設備，其特征在于，在所述脫水桶的下方固定連接支撐底板，用來固定傳動裝置軸座及伺服電機安裝座。

3.根據權利要求1所述的硅片脫水設備，其特征在于，所述交流伺服驅動電路的型號為ASD-A10421LA，可編程控制器的型號為DVP-24ES00R2，觸摸屏的型號為DOP-A57BSTD。