[實用新型]柔性超聲引線鍵合夾具

有效

• 申請號: 201120258940.2
• 申請日: 2011-07-21
• 公開（公告）號: CN202318059U
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 陳立國;潘明強;陳濤;孫立寧;王振華
• 申請（專利權）人: 蘇州大學
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮;李辰

技術領域

本實用新型涉及一種超聲引線鍵合夾具，尤其涉及一種柔性超聲引線鍵合夾具。

背景技術

在MEMS(Micro-Electro-Mechanical?Systems，微機電系統)超聲引線設備中，夾具性能的好壞對引線鍵合的效率具有顯著的影響。目前的夾具一般都是針對某種固定器件而設計的，單次只能加持一個器件，通用性和效率都相對較差。隨著MEMS器件小批量、多樣化、高效率生產的出現，這種專用性夾具越來越不能滿足應用的需求。對不同器件的快速轉換和加持，滿足不同形狀和尺寸的加持需求，已成為當前MEMS超聲引線鍵合作業急需解決的問題。

因此，針對上述技術問題，有必要提供一種柔性超聲引線鍵合夾具，以解決上述問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供一種柔性超聲引線鍵合夾具，該柔性超聲引線鍵合夾具具有調節簡單、適應性強、操作方便等特點，可對規模化生產的圓、方等不同形狀和尺寸器件實現柔性加持。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種柔性超聲引線鍵合夾具，用以加持器件，所述柔性超聲引線鍵合夾具包括鎖緊機構、底座框架、加熱爐體以及夾緊微調機構，所述鎖緊機構、加熱爐體以及夾緊微調機構與底座框架連接形成整體夾具結構，所述鎖緊機構和夾緊微調機構可相對移動，所述鎖緊機構包括夾緊平板，所述夾緊微調機構包括若干V型爪，所述夾緊平板與V型爪共同加持器件，所述若干V型爪可分別加持不同形狀與尺寸的器件，所述V型爪上設有可調節V型爪夾緊力的螺紋連接件。

優選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述夾緊微調機構還包括支撐板以及連接支撐板與底座框架的調整螺桿，所述調整螺桿能旋轉并帶動夾緊微調機構相對底座框架移動。

優選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述鎖緊機構可動且還包括鎖緊導向塊以及與鎖緊導向塊相連的鎖緊推桿，所述夾緊平板與鎖緊導向塊連接，所述鎖緊推桿可旋轉并帶動夾緊平板改變運動行程與夾緊力。

優選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述鎖緊機構還包括與鎖緊推桿相連的鎖緊推板以及可與鎖緊推板抵壓的鎖緊手柄，所述鎖緊手柄包括兩個極限運動位置，該兩個極限運動位置分別是松開位置與夾緊位置，所述鎖緊手柄能在該兩個位置變換并帶動夾緊平板松開或夾緊。

優選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述鎖緊機構還包括與底座框架連接的調整推桿、與底座框架連接的調整螺釘以及與調整螺釘連接的調整板，所述調整螺釘能旋轉并帶動鎖緊機構相對底座框架移動。

優選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述加熱爐體放置在鎖緊機構與夾緊微調機構的中心線上。

優選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述加熱爐體包括加熱管、傳感器、爐體以及隨行定位塊，所述器件設于定位塊上，所述隨行定位塊能根據不同形狀的器件進行改變。

從上述技術方案可以看出，本實用新型實施例的柔性超聲引線鍵合夾具通過設置若干可調節夾緊力的V型爪，使得柔性超聲引線鍵合夾具可以加持不同形狀與尺寸的器件，調節簡單且適應性強。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型柔性超聲引線鍵合夾具的示意圖；

圖2是本實用新型柔性超聲引線鍵合夾具中鎖緊機構的示意圖；

圖3是本實用新型柔性超聲引線鍵合夾具中加熱爐體的示意圖；

圖4是本實用新型柔性超聲引線鍵合夾具中夾緊微調機構的示意圖。

1、鎖緊機構11、鎖緊導向塊12、鎖緊推桿13、鎖緊推板14、鎖緊手柄15、調整推桿16、調整螺釘17、調整板18、夾緊平板2、底座框架3、加熱爐體31、爐體32、隨行定位塊4、夾緊微調機構41、V型爪42、槽板43、微調導桿44、蓋板45、支撐板46、調整螺桿

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行詳細的描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。