[實用新型]步進式平板燒結(jié)爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120252362.1
• 申請日: 2011-07-18
• 公開（公告）號: CN202166316U
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋立祿
• 申請（專利權(quán)）人: 青島賽瑞達設(shè)備制造有限公司
• 主分類號: F27B21/00
• 分類號: F27B21/00;F27B21/08
• 代理公司: 山東清泰律師事務(wù)所 37222
• 代理人: 寧燕

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種對工件進行加熱的燒結(jié)爐，具體涉及一種步進式的平板燒結(jié)爐。

背景技術(shù)

平板燒結(jié)爐用于對工件實施爐內(nèi)加熱，以滿足工件的加熱時間和溫度要求；之后進行冷卻，以滿足工件冷卻時間和在爐體出口時的溫度要求。因此，平板燒結(jié)爐從進口到出口在縱向分布有加熱段和冷卻段。

由于工件從進爐到出爐需要經(jīng)歷一定行程，如何使每個工件緊密連續(xù)、整齊劃一的按照工藝要求的加熱時間和溫度要求通過爐體從而提高平板燒結(jié)爐的產(chǎn)品加工質(zhì)量及工作效率，成為其亟待解決的問題之一。

在LED生產(chǎn)的MOCVD工藝中，會在石墨盤上形成砷化鎵等物質(zhì)的固體沉積。石墨盤上形成沉積物后，需要更換新的石墨盤才可確保生產(chǎn)順利進行，從而使生產(chǎn)成本得到了提高。為了重復(fù)利用石墨盤，還可以對其進行清洗，然而如何清洗石墨盤上的沉積物一直困擾LED外延片生產(chǎn)的難題。

發(fā)明內(nèi)容

?為了解決以上技術(shù)問題，本實用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)備效能高、產(chǎn)量大且次品率低的步進式平板燒結(jié)爐。

本實用新型所述步進式平板燒結(jié)爐，主要包括爐體總成、步進移送機構(gòu)、加熱器、冷卻板、爐架體，其中步進移送機構(gòu)縱向穿過爐體總成，爐架體與步進移送機構(gòu)固定連接，加熱器和冷卻板分別安裝在爐體總成內(nèi)部；

步進移送機構(gòu)包括托桿、剛性連接件、升降氣缸、帶滑塊連接平板、導(dǎo)軌、絲杠母、絲杠、驅(qū)動電機，其中托桿通長，縱向穿過爐體總成并位于爐體總成內(nèi)部底面兩側(cè)，托桿上表面不高于爐體總成內(nèi)部底面上表面，托桿兩端分別通過剛性連接件與升降氣缸連接，升降氣缸固定在帶滑塊連接平板上，帶滑塊連接平板設(shè)置在導(dǎo)軌上，導(dǎo)軌固定在爐架體上；同時一個帶滑塊連接平板與絲杠母固定連接，絲杠母與絲杠為傳動付，絲杠與驅(qū)動電機固定連接。

工作時，開啟設(shè)備，爐體內(nèi)各加熱器通電、各冷卻板通冷卻水、設(shè)備步進動作開啟，在設(shè)備入口處手動操作放置工件，將工件或放置工件的模板按動作節(jié)拍逐個定位放置在爐體總成入口處，此時在步進步驟的連續(xù)動作中，工件或放置工件的模板由于托桿的上升被托起，離開爐體總成內(nèi)部底面，并隨托桿向爐內(nèi)移送一個設(shè)定位移，然后托桿下降，工件被放置在相鄰的下位工作位置上，此時托桿離開工件，后低位回程到原點。重復(fù)上述過程，另一新放入的工件連同處于下位的上一工件一起被上升托起——移送——下降——將工件放置在相鄰的下位工作位置上——回程。反復(fù)重復(fù)上述過程，連續(xù)的放入工件，托桿將爐內(nèi)的所有工件一起上升、移送、下降、回程，實現(xiàn)連續(xù)的移送過程，直到爐體組成出口處有工件傳出時，手動隨節(jié)拍取下加熱、冷卻后的工件。這樣，上料和下料同步進行，爐體組成內(nèi)部從入口到出口間已經(jīng)排列滿了工件。

以上過程，托桿的上升動作由升降氣缸實現(xiàn)，移送的位移由驅(qū)動電機通過絲杠和絲杠母傳動付將圓周運動轉(zhuǎn)化為直線運動實現(xiàn)；下降動作由升降氣缸反向通氣實現(xiàn)；回程由驅(qū)動電機、絲杠及絲杠母實現(xiàn)動作轉(zhuǎn)換回到位置原點。反復(fù)上述過程，由電氣控制實現(xiàn)自動運行完成動作的連續(xù)步進。

工件進入爐體總成的入口，隨著數(shù)次的上升、移送、下降、回程，完成等次數(shù)的加熱；當通過加熱段進入冷卻段后，每次的下降都是放置在底面的冷卻板上；隨節(jié)拍的數(shù)次冷卻直到移出爐口，由人工依節(jié)拍依次取下工件，完成工件的燒結(jié)、冷卻過程。

本實用新型所述步進式平板燒結(jié)爐，它通過步進移送機構(gòu)實現(xiàn)對工件位移的精確控制，從而從每個工件可以按照一定間隔有規(guī)律且連續(xù)不斷從爐體進口一直到出口，提高了平板燒結(jié)爐對工件的加工質(zhì)量，降低了工件的殘次率，且使工作效率得到了很大的提高。

為了達到更好的效果，本實用新型所述步進式平板燒結(jié)爐，還可以采用以下措施：

1、所述步進移送機構(gòu)還包括升降導(dǎo)桿，升降導(dǎo)桿一端固定在帶滑塊連接平板上，另一端與剛性連接件滑動連接。在升降導(dǎo)桿的導(dǎo)向作用下，剛性連接件以及其上的托桿可以隨升降氣缸平穩(wěn)的進行升降，以確保工件的上升及下降安全順利地完成。

2、所述加熱器和冷卻板設(shè)置在的爐體總成內(nèi)部的頂面和底面，其中底面的加熱器上方還安裝有均熱板。這樣，可以使爐內(nèi)溫度均勻，且當工件下降到均熱板后進一步達到均勻加熱的目的。

3、所述爐體總成為開合式，所述加熱器和冷卻板與爐體總成的固定方式為可拆裝式。這樣，便于安裝、拆卸、調(diào)整及維護加熱器、均熱板。

4、所述爐體總成的開合結(jié)合面之間設(shè)有密封條。從而可以使爐體總成達到更好的密封效果。

5、所述爐體總成還設(shè)置進氣管，該進氣管通入爐體總成內(nèi)部。這樣，根據(jù)工藝要求，爐內(nèi)可以通過進氣管通入保護性氣體或氫氣，便于工藝過程的高質(zhì)量實現(xiàn)。