[實用新型]單晶爐有效
| 申請號: | 201120249442.1 | 申請日: | 2011-07-15 |
| 公開(公告)號: | CN202181367U | 公開(公告)日: | 2012-04-04 |
| 發明(設計)人: | 吳學軍 | 申請(專利權)人: | 寧夏日晶新能源裝備股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/06 | 分類號: | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司: | 銀川長征知識產權代理事務所 64102 | 代理人: | 馬長增 |
| 地址: | 753000 寧夏回*** | 國省代碼: | 寧夏;64 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單晶爐 | ||
技術領域:
本實用新型涉及單晶硅生產設備技術領域,特別涉及一種單晶爐。
背景技術:
單晶爐是多晶硅轉化為單晶硅工藝過程的必備設備,而單晶硅又是光伏發電和半導體行業的基礎原料。單晶硅作為現代信息社會的關鍵支撐材料,是目前世界上最重要的單晶材料之一,它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料,也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。
現有的單晶爐上采用的鎖定機構,大都是利用機械式的結構實現的,或者純電磁式的機構,這些現有的鎖定機構都具有傳動結構,然而現有鎖定機構的傳動結構存在執行動作的準確性差、靈敏度不高、可靠性不良等缺陷。
發明內容:
有鑒于此,有必要提供一種采用執行動作準確、靈敏、高可靠性的鎖定機構的單晶爐。
一種單晶爐,包括中爐體、下爐體、定位銷、定位銷座、定位塊。定位銷座固定在下爐體上,且定位銷座上開設有第一定位孔,定位銷通過定位銷座的第一定位孔固定在定位銷座上;定位塊固定在中爐體上且定位塊的形狀與定位銷座的形狀相適配,定位塊上開設有第二定位孔,在中爐體與下爐體結合時,定位銷插入中爐體上的定位塊的第二定位孔中。
優選的,第一定位孔的孔徑小于第二定位孔的孔徑。
優選的,定位銷中部設置有環形卡持部,卡持部的直徑大于第一定位孔的孔徑。
優選的,定位銷的一端是圓錐體,另一端時圓柱體,定位銷的圓柱體端插入定位銷座的第一定位孔中,定位銷的圓錐體端插入定位塊的第二定位孔中。
優選的,定位銷、定位銷座及定位塊的數量都為兩個,兩個定位銷座在下爐體的上法蘭外側的相對的兩個位置上安裝,兩個定位塊在中爐體的下法蘭外側相對的兩個位置上安裝。
本實用新型提供的單晶爐,在下爐體上設置具有定位孔的定位銷座,定位銷通過定位銷座的定位孔固定在定位銷座上,在中爐體與下爐體結合時,中爐體上的定位塊通過定位銷定位,亦即,定位銷穿過定位塊上的定位孔,就可定位中爐體與下爐體相對位置,如此通過定位銷、定位銷座、定位塊構成執行動作準確、靈敏、高可靠性的鎖定機構,故不需要設置具有傳動結構的鎖定機構就可實現中爐體與下爐體相對鎖定。
附圖說明:
附圖1是一較佳實施方式的單晶爐的結構示意圖。
附圖2是圖1中單晶爐的剖面結構示意圖。
附圖3是圖1中定位銷的結構示意圖。
圖中:單晶爐10、中爐體11、下爐體12、定位銷13、卡持部131、定位銷座14、第一定位孔141、定位塊15、第二定位孔151
具體實施方式:
如圖1及圖2所示的單晶爐10包括中爐體11、下爐體12、定位銷13、定位銷座14、定位塊15。
定位銷座14固定在下爐體12上,且定位銷座14上開設有第一定位孔141,定位銷13通過定位銷座14的第一定位孔141固定在定位銷座14上。其中,定位銷座14可以通過螺帽、螺桿配合方式固定在下爐體12上。
定位塊15固定在中爐體11上,且定位塊15的形狀與定位銷座14的形狀相適配。例如,定位銷座14為長方體時,對應的定位塊15也為長方體。定位塊15上開設有第二定位孔151,且第一定位孔141的孔徑小于第二定位孔151的孔徑。
請同時參看圖3,在本實施方式中,定位銷13的一端是圓錐體,另一端時圓柱體,定位銷13的圓柱體端插入定位銷座14的第一定位孔141中,定位銷13的圓錐體端插入定位塊15的第二定位孔151中,定位銷13中部設置有環形卡持部131,卡持部131的直徑大于第一定位孔141的孔徑,如此,定位銷13的圓柱體端插入定位銷座14的第一定位孔141時,卡持部131卡在第一定位孔141上,進而防止定位銷13整個從第一定位孔141脫落。
進一步的,對于中爐體11和下爐體12的定位位置可根據具體情況,由設計者自定,例如,在本實施方式中,定位銷13的數量為兩個,定位銷座14固定在下爐體12的上法蘭外側,且定位銷座14的數量是兩個,兩個定位銷座14在上法蘭外側的相對的兩個位置上安裝,同樣的中爐體11的下法蘭外側相對的兩個位置上分別安裝有定位塊15,如此通過兩組定位銷13、定位銷座14、定位塊15,來實現中爐體11和下爐體12的定位鎖定。
本實用新型提供的單晶爐10,在下爐體12上設置具有第一定位孔141的定位銷座14,定位銷13通過定位銷座14的第一定位孔141固定在定位銷座14上,在中爐體11與下爐體12結合時,中爐體11上的定位塊15通過定位銷13定位,亦即,定位銷13穿過定位塊15上的第二定位孔151,就可定位中爐體11與下爐體12相對位置,如此通過定位銷13、定位銷座14、定位塊15構成執行動作準確、靈敏、高可靠性的鎖定機構,故不需要設置具有傳動結構的鎖定機構就可實現中爐體11與下爐體12相對鎖定。
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