[實用新型]雙束離子源有效
| 申請號： | 201120244608.0 | 申請日： | 2011-07-12 |
| 公開（公告）號： | CN202167449U | 公開（公告）日： | 2012-03-14 |
| 發明（設計）人： | 袁萍 | 申請（專利權）人： | 袁萍 |
| 主分類號： | H01J37/08 | 分類號： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203 | 代理人： | 劉蘭 |
| 地址： | 100097 北京市海淀*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子源 | ||
【權利要求書】：
1.一種雙束離子源，包括：等離子體產生部分和引出系統兩部分，其特征在于：等離子體產生部分的腔體內固定有使腔體分成兩個獨立腔室的固定板，且在每個獨立腔室上部設有把氣體引入獨立腔室的進氣孔，在在每個獨立腔室下部設有從其內引出離子束的離子引出窗口，在對應離子引出窗口的引出系統上分別設有引出束流孔。
2.根據權利要求1所述的雙束離子源，其特征在于：固定板為陶瓷或氮化硼固定板。
3.根據權利要求1所述的雙束離子源，其特征在于：固定板平均分隔兩個獨立腔室。
4.根據權利要求1所述的雙束離子源，其特征在于：腔體的直徑大于5cm。
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