[實用新型]用于單晶爐的同步旋轉提升裝置

有效

• 申請號: 201120243903.4
• 申請日: 2011-07-12
• 公開（公告）號: CN202175743U
• 公開（公告）日: 2012-03-28
• 發明（設計）人: 房志剛
• 申請（專利權）人: 常州江南電力光伏科技有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30;C30B15/10
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 何學成

技術領域

本實用新型涉及單晶爐技術領域，具體涉及一種用于單晶爐的同步旋轉提升裝置。

背景技術

人工晶體在科學技術和工業生產領域中起到越來越重要的作用。單晶爐是用于單晶硅生長，在單晶硅生長過程，需要對生長成的進行提升、同時為了保證單晶硅的正常生長，便需要將存放融化物的坩堝同步向上遞升，而現有的提升結構精度低、影響單晶硅的生長質量。

發明內容

針對上述技術問題，本實用新型提供一種用于單晶爐的同步旋轉提升裝置，其具有較高的提升精度、能夠保證單晶硅的生長質量。

實現本實用新型的技術方案如下：

用于單晶爐的同步旋轉提升裝置，包括爐體，所述爐體上部設置有能夠旋轉的上提升桿，上提升桿的上端部為螺紋桿、下端位于爐體內，以及設置在爐體上部驅動提升桿轉動的驅動裝置；在爐體下部設置有能夠旋轉的同步上升桿，同步上升桿的上端位于爐體內、下端部為螺紋桿，在爐體的下部設置有驅動同步上升桿轉動的驅動機構；還包括控制驅動裝置、驅動電機工作的控制器。

所述驅動裝置包括第一伺服電機以及設置在第一伺服電機輸出端的第一減速器，第一減速器的輸出端與上提升桿上端部的螺紋桿相配合；所述驅動機構包括位于爐體下方的第二伺服電機以及聯結在第二伺服電機輸出端的第二減速器，第二減速器的輸出端與同步上升桿下端部的螺紋桿配合?？刂破髋c第一伺服電機、第二伺服電機相連接并控制第一伺服電機、第二伺服電機工作。

所述上提升桿上端部的螺紋桿、同步上升桿下端部的螺紋桿是相同的，保證同步提升傳動的精度。

采用了上述方案，控制器同時控制第一伺服電機、第二伺服電機工作，第一伺服電機的動力通過第一減速器傳遞給上提升桿上端部的螺紋桿，從而能夠實現上提升桿的升降運動；第二伺服電機的動力通過第二減速器傳遞給同步上升桿下端部的螺紋桿，從而同步上升桿能夠升降運動。在單晶硅生產過程中，上提升桿上升并由其下端對單晶硅進行提升，在上提升桿上升的同時，控制器會通過控制第二伺服電機驅動同步上升桿同步上升，從而保證坩堝內的融化物，滿足長晶的需求，不會出現斷晶的現象，保證單晶硅的生長質量。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖中，1為爐體，2為上提升桿，3為螺紋桿，4為第一伺服電機，5為第一減速器，6為同步上升桿，7為螺紋桿，8為第二伺服電機，9為第二減速器，10為控制器，11為坩堝托盤，12為坩堝。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型進一步說明。

參見圖1所示，用于單晶爐的同步旋轉提升裝置，包括爐體1，爐體1上部設置有能夠旋轉的上提升桿2，上提升桿2的上端部為螺紋桿3、下端位于爐體內對生長的單晶硅進行提升，以及設置在爐體上部驅動提升桿轉動的驅動裝置，其驅動裝置包括第一伺服電機4以及設置在第一伺服電機4輸出端的第一減速器5，第一減速器5的輸出端與螺紋桿相配合進行傳動；同時在爐體下部設置有能夠旋轉的同步上升桿6，同步上升桿6的上端位于爐體內并固定安裝有坩堝托盤11以及放置在坩堝托盤內存放融化物的坩堝12，下端部為螺紋桿7，在爐體的下部設置有驅動同步上升桿轉動的驅動機構，驅動機構包括位于爐體下方的第二伺服電機8以及聯結在第二伺服電機8輸出端的第二減速器9，其第二減速器9的輸出端與同步上升桿下端部的螺紋桿7配合；上提升桿的螺紋桿3、同步上升桿的螺紋桿7上的螺紋是相同的，保證了傳遞的精度。以及與第一伺服電機、第二伺服電機相連接并控制第一伺服電機、第二伺服電機工作的控制器10。

本實用新型的工作原理：在單晶硅生產過程中，控制器控制第一伺服電機驅動上提升桿上升并由其下端對單晶硅進行提升，同時控制器會同步控制第二伺服電機驅動同步上升桿同步上升，坩堝以及坩堝內的融化物也一起上升，保證坩堝內的融化物滿足長晶的需求，保證單晶硅的生長質量。