[實用新型]單晶爐提拉旋轉驅動裝置有效
| 申請號: | 201120243019.0 | 申請日: | 2011-07-12 |
| 公開(公告)號: | CN202181366U | 公開(公告)日: | 2012-04-04 |
| 發明(設計)人: | 房志剛 | 申請(專利權)人: | 常州江南電力光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/30 | 分類號: | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司: | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人: | 何學成 |
| 地址: | 213125 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單晶爐提拉 旋轉 驅動 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及單晶爐裝置領域,尤其是一種單晶爐提拉旋轉驅動裝置。
背景技術
傳統的單晶硅爐主要用于生產硅半導體材料,單晶硅爐包括硅半導體材料生長合成的主爐室、位于主爐室上端的硅籽晶提升結構和電控自動糸統。傳統的單晶硅爐的硅籽晶提升結構采用硬軸旋轉和提拉,從而使中心軸較長,造成設備高度較大較高,且旋轉提拉穩定性差,造成產品正品率低,使用制作成本高,維修麻煩。
發明內容
本實用新型針對上述技術中存在的缺點,提供一種單晶爐提拉旋轉驅動裝置,它具有提拉靈活的優點,克服了上述技術中存在的不足之處。
實現本實用新型目的的技術方案如下:
單晶爐提拉旋轉驅動裝置,它包括驅動電機,驅動電機驅動箱體內的傳動機構,該傳動機構包括兩個轉軸,第一轉軸通過傳動帶與驅動電機連接,該第一轉軸上固定有卷曲盤,卷曲盤側面設有片狀的第一齒輪,卷曲盤上卷繞有鋼絲繩,第二轉軸上設有配重塊,該配重塊周面上設有第二齒輪,第二齒輪與片狀的第一齒輪嚙合,鋼絲繩還下端設有用于連接籽晶的連接體,所述的驅動電機為直流伺服電機。
所述的直流伺服電機為無刷直流伺服電機。
本實用新型的優點是采用無刷直流伺服電機,重量輕,出力大,響應快,速度高,慣量小,轉動平滑,力矩穩定;控制復雜,容易實現智能化,其電子換相方式靈活,可以方波換相或正弦波換相;電機免維護,效率很高,運行溫度低,電磁輻射很小,長壽命,可用于各種環境。
附圖說明
圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
如圖1所示,單晶爐提拉旋轉驅動裝置,它包括驅動電機1,驅動電機驅動箱體6內的傳動機構,該傳動機構包括兩個轉軸,第一轉軸4通過傳動帶與驅動電機1連接,該第一轉軸4上固定有卷曲盤3,卷曲盤3側面設有片狀的第一齒輪2,卷曲盤3上卷繞有鋼絲繩8,第二轉軸7上設有配重塊5,該配重塊5周面上設有第二齒輪,第二齒輪與片狀的第一齒輪嚙合,鋼絲繩8還下端設有用于連接籽晶的連接體9,所述的驅動電機1為直流伺服電機。
上述實施例中,直流伺服電機還可以為無刷直流伺服電機。
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