[實用新型]一種單晶生長爐隔離閥腔體

有效

• 申請號: 201120235894.4
• 申請日: 2011-07-06
• 公開（公告）號: CN202214442U
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: 王朝定
• 申請（專利權）人: 杭州風正電子科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

技術領域

本實用新型涉及單晶生長爐，尤其涉及一種單晶生長爐隔離閥腔體。?

背景技術

在單晶生長爐中，要有一個在爐膛和拉伸腔之間作為過渡的腔體，裝隔離閥用，但由于是在熱場上方，溫度很高，經常出現熱損，不是隔離閥被損壞，就是隔離閥腔體被損壞，因此考慮采用水冷卻系統，將隔離閥腔體內設計成夾層螺旋式水道，把對接的法蘭內部挖空，做成蜂窩狀，使冷卻水無處不到，像血液一樣循環于隔離閥腔體。?

發明內容

本實用新型的目的是為了克服單晶生長爐隔離閥及隔離閥腔體的熱損壞，延長其使用壽命，為隔離閥及隔離閥腔體的降溫，提供一種單晶生長爐隔離閥腔體。?

單晶生長爐隔離閥腔體包括上法蘭、下法蘭、觀察窗、閥口法蘭、閥口接管、方形內膽、半圓內膽、方形外殼、半圓外殼、水圈、長塞堵、短塞堵、蓋板、隔水塊、隔水條、分水條、出水管、進水接頭、卸壓閥、真空接頭、視口法蘭、頸內管、頸外管；方形內膽和半圓內膽縱向焊接成筒狀，形成腔體內膽，方形外殼和半圓外殼縱向焊接成筒狀，形成腔體外殼，腔體內膽套在腔體外殼內，并焊在上法蘭和下法蘭之間，在腔體的兩側面焊有兩個觀察窗，在腔體的直角處焊有閥口接管，閥口接管上裝有閥口法蘭，在腔體的前部中間位，裝有頸內管、頸外管、視口法蘭，頸內管焊在半圓內膽上，頸外管焊在半圓外殼上，視口法蘭管焊在頸內管和頸外管的平齊端面上，出水管接在上法蘭上的出水口F處，進水接頭焊在方形外殼的下部，泄壓閥裝在方形外殼的上部，真空接頭在腔體背面的中間部位，穿過方形外殼和方形內膽，與腔體內腔相通，在腔體內膽和腔體外殼之間焊有隔水條和分水條，形成螺旋形水道，在上法蘭的內圈槽口焊有水圈，在水圈與上法蘭的內槽組成的空腔中焊有隔水塊，在上法蘭的三個側面的孔中裝有長塞堵、短塞堵和蓋板。?

本實用新型設計簡單，容易實現。用于單晶生長的設備中，作為隔離閥的腔體，為隔離閥提供了一種恒溫安逸的工作環境。?

附圖說明

圖1是單晶生長爐隔離閥腔體的結構示意圖；?

圖2是圖1的A-A剖面圖；

圖3是圖1移去外殼從180°處斷開的平鋪圖；

圖4是圖1的B向視圖；

圖中：上法蘭1、下法蘭2、觀察窗3、閥口法蘭4、閥口接管5、方形內膽6、半圓內膽7、方形外殼8、半圓外殼9、水圈10、長塞堵11、短塞堵12、蓋板13、隔水塊14、隔水條15、分水條16、出水管17、進水接頭18、卸壓閥19、真空接頭20、視口法蘭21、頸內管22、頸外管23、進水口E、出水口F、泄壓口D、法蘭入水口G、大視口H。

具體實施方式

如圖所示，單晶生長爐隔離閥腔體包括上法蘭1、下法蘭2、觀察窗3、閥口法蘭4、閥口接管5、方形內膽6、半圓內膽7、方形外殼8、半圓外殼9、水圈10、長塞堵11、短塞堵12、蓋板13、隔水塊14、隔水條15、分水條16、出水管17、進水接頭18、卸壓閥19、真空接頭20、視口法蘭21、頸內管22、頸外管23。方形內膽6和半圓內膽7縱向焊接成筒狀，形成腔體內膽，方形外殼8和半圓外殼9縱向焊接成筒狀，形成腔體外殼，腔體內膽套在腔體外殼內，并焊在上法蘭1和下法蘭2之間，在腔體的兩側面焊有兩個觀察窗3，在腔體的直角處焊有閥口接管5，閥口接管5上裝有閥口法蘭4，在腔體的前部中間位，裝有頸內管22、頸外管23、視口法蘭21，頸內管22焊在半圓內膽7上，頸外管23焊在半圓外殼8上，視口法蘭21焊在頸內管22和頸外管23的平齊端面上，出水管17接在上法蘭上的出水口F處，進水接頭18焊在方形外殼8的下部，泄壓閥19裝在方形外殼8的上部，真空接頭20在腔體背面的中間部位，穿過方形外殼8和方形內膽6，與腔體內腔相通，在腔體內膽和腔體外殼之間焊有隔水條15和分水條16，形成螺旋形水道，在上法蘭1的內圈槽口焊有水圈10，在水圈10與上法蘭1的內槽組成的空腔中焊有隔水塊14，在上法蘭1的三個側面的孔中裝有長塞堵11、短塞堵12和蓋板13。?