[實用新型]一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120232561.6
• 申請日: 2011-07-04
• 公開（公告）號: CN202174043U
• 公開（公告）日: 2012-03-28
• 發(fā)明（設計）人: 錢清友;薛治祥;顏呈祥
• 申請（專利權）人: 江蘇捷捷微電子股份有限公司
• 主分類號: B05C11/06
• 分類號: B05C11/06
• 代理公司: 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權代理有限公司 32243
• 代理人: 盧海洋

1.一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置，包括勻膠腔體底座，所述勻膠腔體底座頂部設有勻膠腔體蓋，所述勻膠腔體底座和勻膠腔體蓋之間設有勻膠腔體心體，其特征在于：所述勻膠腔體心體側面與勻膠腔體蓋內側內弧面平行，所述勻膠腔體心體的正上方設有勻膠遮擋環(huán)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種高粘度光刻膠無膠絲勻膠裝置，其特征在于：所述勻膠腔體心體頂部中心與勻膠腔體蓋中心間距為1.4-1.6cm，所述勻膠腔體心體側面與勻膠腔體蓋內側內弧面其間距為3.0-3.5cm，所述勻膠遮擋環(huán)厚度為0.60-0.65cm、內直徑為???6.5-7.0cm、外直徑為10.5-11.0cm，所述勻膠遮擋環(huán)與勻膠時硅片的間距為0.15-0.25cm。