[實(shí)用新型]一種帶有內(nèi)部水冷的直拉單晶爐熱屏有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120229547.0 | 申請(qǐng)日： | 2011-07-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN202246987U | 公開（公告）日： | 2012-05-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蘇文佳;左然;李通通 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C30B15/00 | 分類號(hào)： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 南京知識(shí)律師事務(wù)所 32207 | 代理人： | 汪旭東 |
| 地址： | 212013 江*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 帶有 內(nèi)部 水冷 直拉單晶爐熱屏 | ||
1.一種帶有內(nèi)部水冷的直拉單晶爐熱屏，包括外熱屏（2）、保溫碳?xì)郑?）、內(nèi)熱屏（5）和保溫桶上蓋（7），所述外熱屏（2）、保溫碳?xì)郑?）、內(nèi)熱屏（5）為三層圓臺(tái)形同軸結(jié)構(gòu)，從外向內(nèi)依次為外熱屏（2）、保溫碳?xì)郑?）、內(nèi)熱屏（5），其特征在于，還包括冷卻水管進(jìn)口（1）、圓臺(tái)形螺旋水冷管（4）、冷卻水管出口（6）、冷卻水流量閥（8）、高壓水泵（9）和噴淋冷卻塔（10），所述圓臺(tái)形螺旋水冷管（4）包裹在保溫碳?xì)郑?）中，所述圓臺(tái)形螺旋水冷管（4）與內(nèi)熱屏（5）和外熱屏（2）均同軸；所述冷卻水管進(jìn)口（1）和冷卻水管出口（6）從內(nèi)熱屏（5）上沿穿過(guò)；所述冷卻水管進(jìn)口（1）與高壓水泵（9）連接，冷卻水管出口（6）與噴淋冷卻塔（10）連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有內(nèi)部水冷的直拉單晶爐熱屏，其特征在于，所述冷卻水流量閥（8）設(shè)置于冷卻水管進(jìn)口（1）與高壓水泵（9）之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種帶有內(nèi)部水冷的直拉單晶爐熱屏，其特征在于，所述圓臺(tái)形螺旋水冷管（4）的材料為鉬、銅或不銹鋼。
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