[實用新型]一種旋轉型靶材有效
| 申請號： | 201120227518.0 | 申請日： | 2011-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN202148348U | 公開（公告）日： | 2012-02-22 |
| 發明（設計）人： | 石煜 | 申請（專利權）人： | 廈門映日光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;B32B1/08;B32B15/04;B32B15/18;B32B9/04 |
| 代理公司： | 廈門市誠得知識產權代理事務所 35209 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省廈門市火*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 旋轉 型靶材 | ||
【權利要求書】：
1.一種旋轉型靶材，包括管狀的金屬基材、鍍膜材料層，管狀的金屬基材兩端設有肩臺，其特征在于：管狀的金屬基材外表面除兩端肩臺外鍍有鎳鋁材料層，鎳鋁材料層外部再噴涂厚度均等的鍍膜材料層。
2.根據權利要求1所述的一種旋轉型靶材，其特征在于：所述的管狀的金屬基材為管狀不銹鋼基材。
3.根據權利要求1或2所述的一種旋轉型靶材，其特征在于：所述的鍍膜材料層為硅鋁材料層。
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